晶片晶圓表面缺陷檢測(cè)燈 黃綠光半導(dǎo)體材料表面檢查燈 晶片顆粒缺陷儀 wafer表面檢測(cè)燈
晶片晶圓表面缺陷檢測(cè)燈是一款黃綠光半導(dǎo)體材料表面檢查燈，可用于檢測(cè)晶片、晶圓表面缺陷，利用適合的LED燈源，通過(guò)光學(xué)鏡片折射出特殊波長(zhǎng)的光源，照在晶片、晶圓表面折射出光路，從而發(fā)現(xiàn)表面的缺陷瑕疵。取代傳統(tǒng)的照明設(shè)備和光學(xué)系統(tǒng)機(jī)臺(tái)，直接通過(guò)照明光線和肉眼，觀測(cè)出晶片、晶圓表面表面的瑕疵，極大的節(jié)省了一般工廠的采購(gòu)成本。
黃綠光半導(dǎo)體材料表面檢查燈采用人眼最敏感510-590NM之間波長(zhǎng)光，來(lái)做最簡(jiǎn)單與明確的判別，可精確檢查到1um以下的刮痕或微粒子，并且具有綠光和黃光2種顏色的復(fù)合光，幾乎可檢測(cè)出所有塵埃，大大降低產(chǎn)品不良率。使用壽命為2萬(wàn)小時(shí)以上。光源強(qiáng)度可達(dá)90000LX，最小可以檢測(cè)1μ的表面臟污，比傳統(tǒng)的檢查燈，效用增強(qiáng)10倍.
晶片晶圓表面缺陷檢測(cè)燈
晶片晶圓表面缺陷檢測(cè)燈規(guī)格參數(shù)：
型號(hào)：桌面式晶圓檢查燈，晶片顆粒缺陷儀，wafer表面檢測(cè)燈
光 源：高亮度的6000K LED加濾光片和光學(xué)鏡片； LED平均壽命是30000小時(shí)
照度：距離45cm → 48000lx；距離30cm → 68000 lx（我們掌握了核心技術(shù)，我們可以提供不同照度的平行燈，它們可滿足不同客戶的要求）
照射面積： 18cm直徑的光圈 在40cm的距離
調(diào)光方式： 無(wú)極調(diào)光：從0% ~ 100%；
消耗功率：20 W
電源：采用110-220V電源供電（交流供電），可以24小時(shí)持續(xù)無(wú)間斷工作。
平行光強(qiáng)的穩(wěn)定性： > 90 ％
