全站儀是人們?cè)诮嵌葴y量自動(dòng)化的過程中應(yīng)用而生的，各類電子經(jīng)緯儀在各種測繪作業(yè)中起著巨大的作用。
全站儀的發(fā)展經(jīng)歷了從組合式即光電測距儀與光學(xué)經(jīng)緯儀組合，或光電測距儀與電子經(jīng)緯儀組合，到整體式即將光電測距儀的光波發(fā)射接收系統(tǒng)的光軸和經(jīng)緯儀的視準(zhǔn)軸組合為同軸的整體式全站儀等幾個(gè)階段。
最初速測儀的距離測量是通過光學(xué)方法來實(shí)現(xiàn)的，我們稱這種速測儀為“光學(xué)速測儀”。實(shí)際上，“光學(xué)速測儀”就是指帶有視距絲的經(jīng)緯儀，被測點(diǎn)的平面位置由方向測量及光學(xué)視距來確定，而高程則是用三角測量方法來確定的。
帶有“視距絲”的光學(xué)速測儀，由于其快速、簡易，而在短距離（100米以內(nèi)）、低精度 （1/200(1/500）的測量中，如碎部點(diǎn)測定中，有其優(yōu)勢(shì)，得到了廣泛的應(yīng)用。
隨著電子測距技術(shù)的出現(xiàn)，大大地推動(dòng)了速測儀的發(fā)展。用電磁波測距儀代替光學(xué)視距經(jīng)緯儀，使得測程更大、測量時(shí)間更短、精度更高。人們將距離由電磁波測距儀測定的速測儀籠統(tǒng)地稱之為“電子速測儀”（Electronic Tachymeter）。
然而，隨著電子測角技術(shù)的出現(xiàn)。 這一“電子速測儀”的概念又相應(yīng)地發(fā)生了變化，根據(jù)測角方法的不同分為半站型電子速測儀和全站型電子速測儀。半站型電子速測儀是指用光學(xué)方法測角的電子速測儀，也有稱之為“測距經(jīng)緯儀”。這種速測儀出現(xiàn)較早，并且進(jìn)行了不斷的改進(jìn)，可將光學(xué)角度讀數(shù)通過鍵盤輸入到測距儀，對(duì)斜距進(jìn)行化算，最后得出平距、高差、方向角和坐標(biāo)差，這些結(jié)果都可自動(dòng)地傳輸?shù)酵獠看鎯?chǔ)器中。全站型電子速測儀則是由電子測角、電子測距、電子計(jì)算和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元等組成的三維坐標(biāo)測量系統(tǒng)，測量結(jié)果能自動(dòng)顯示，并能與外圍設(shè)備交換信息的多功能測量儀器。由于全站型電子速測儀較完善地實(shí)現(xiàn)了測量和處理過程的電子化和一體化，所以人們也通常稱之為全站型電子速測儀或簡稱全站儀。
20世紀(jì)八十年代末，人們根據(jù)電子測角系統(tǒng)和電子測距系統(tǒng)的發(fā)展不平衡，將全站儀分成兩大類，即積木式和整體式。
20世紀(jì)九十年代以來，基本上都發(fā)展為整體式全站儀。
南京君燦儀器主要銷售國產(chǎn)全站儀品牌：
南方：NTS-312B、NTS-312R、NTS-332R、NTS-342、NTS-342R、NTS-352、NTS352R、NTS362R；
三鼎：STS-752、STS-752R、STS782R；
科力達(dá)：KTS-442L、KTS-442LL、KTS-442LC、KTS-442LLC、KTS-442R、KTS-442RL、KTS-442RC、KTS-442RLC、KTS-472R、KTS-552R、KTS-582R；
歐波：FTS-532N、FTS-632NM、FTS-812N。
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