一、設(shè)備用途及特點(diǎn)
l 本設(shè)備主要用于藍(lán)寶石襯底、硅片、陶瓷片、光學(xué)玻璃、石英晶體、其它半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端面的同時磨削及拋光。
l 創(chuàng)新是設(shè)計的基本理念,本設(shè)備在設(shè)計時認(rèn)真分析和比較了國內(nèi)外同類設(shè)備的結(jié)構(gòu)、控制和功能特點(diǎn),綜合、歸納并采用了眾多用戶的成功經(jīng)驗和合理建議。著力提高設(shè)備的技術(shù)含量、運(yùn)行精度和運(yùn)行平穩(wěn)性。
l 采用先進(jìn)的臺灣產(chǎn)PLC程序控制器,控制整機(jī)的動作,自動化程度高,并由與之匹配的大屏幕觸摸屏作界面,顯示當(dāng)前整機(jī)狀態(tài),實(shí)現(xiàn)人機(jī)對話,操作一目了然。
l 采用變頻調(diào)速及全齒輪傳動,使整機(jī)工作時起動平穩(wěn)、運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定,尤其在低速運(yùn)轉(zhuǎn)時,克服了上、下研磨盤的竄動、爬行現(xiàn)象。
l 采用亞德克生產(chǎn)的氣動執(zhí)行元件與SMC生產(chǎn)的氣動控制元件配套,實(shí)現(xiàn)研磨盤分輕壓、中壓、重壓、精研等四個階段的壓力無級調(diào)節(jié),為磨削工件提供更出色的研磨效率及更廣泛的磨削工藝選擇。
l 大齒圈可以升降,且升降位置可以調(diào)節(jié)。太陽輪的高度也可以通過定期增減墊片數(shù)量進(jìn)行調(diào)節(jié)。
l 減速機(jī)用杭州杰牌的,型號是150-20與075-30。
l 采用雙電機(jī)和雙變頻驅(qū)動;產(chǎn)地是無錫亨達(dá)高溫變頻電機(jī)。主電機(jī)(9KW/1440rpm)帶動上、下研磨盤和齒圈;用副電機(jī)(1.5KW/1400rpm)帶動太陽輪。副電機(jī)與主電機(jī)按比例同步調(diào)速。
l 配備有自動潤滑裝備,對齒輪進(jìn)行潤滑。
l 本設(shè)備可設(shè)定和存儲二十套不同的工藝參數(shù)(壓力、速度、時間、圈數(shù))供使用者選用。
l 配有主氣缸端鎖機(jī)構(gòu),可方便、安全鎖定上研磨盤。
主要技術(shù)參數(shù)
Main technical beters
1)研磨盤規(guī)格:上盤Φ965×Φ385×45mm 下盤Φ965×Φ385×35mm
Grinding Pan Specification: Φ965×Φ385×35mm
2)行星輪規(guī)格:Dp12 Z=152 a=20° (外徑:Φ325.96)
Planet Wheel Specification: Dp12 Z=152 a=20° (OD:Φ325.96)
3)放置行星輪個數(shù)n 3≤n≤6
Number of planet wheel:n 3≤n≤6
4)研磨工件厚度:b 0.3mm≦b≦20mm
Workpieces ideal Thickness:b 0.3mm≦b≦20mm
5)研磨工件理想規(guī)格: Φ150 最大工件規(guī)格:對角線300mm
Workpeces Ideal Dimension: Φ150
6)齒圈升降高度:35mm
Geared Ring Moving Sphere:35mm
7)下研磨盤轉(zhuǎn)速: 0-50rpm
Lower wheel speed:0-50rpm
8)主氣缸: Φ125×450mm
Main ain cylinder: Φ125×450mm
9)升降氣缸: Φ80×250mm
Moving air cylinder: 80×250mm
10)端鎖氣缸: Φ32×15mm
Locking air cylinder: Φ32×15mm
11)主電機(jī):YVP132M-4 9KW
Main Motor: YVP132M-4 9KW
12)副電機(jī): YVP90L-4 1.5KW
Vice Motor:YVP90L-4 1.5KW
13)砂泵電機(jī): AB-100 250W
Sand Pump Motor:AB-100 250W
14)設(shè)備外形尺寸:1700×1350×2650mm
Machine Dimensions:1700×1350×2650mm
15)設(shè)備重量:3100Kg
Machine Weight:3100Kg