氣體質(zhì)量流量控制器,日本小島KOFLOC氣體質(zhì)量流量控制器
氣體質(zhì)量流量控制器因有控制器精度高，重復(fù)性好，反應(yīng)速度快。它適合半導(dǎo)體，CVD，擴(kuò)散，真空鍍膜，色譜、光纖煉，分析儀器，燃料電池，液晶屏，有機(jī)EL,生物工程，等離子蝕刻，環(huán)境測試，燃燒氣體控制，試驗(yàn)設(shè)備，焊接，微應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)等各個環(huán)節(jié)、各個制造過程中的流量控制。氣體質(zhì)量流量控制器所用的傳感器是熱式流量傳感器，熱式質(zhì)量流量計(jì)是利用傳熱原理，即流動中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測量管外加熱體）之間熱量交換關(guān)系來測量流量的儀表。
工作原理
流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無需溫度壓力補(bǔ)償）。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓/電流進(jìn)行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使用之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量?？刂破鬏敵龅牧髁克z測電壓/電流與流過通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測輸出電為＋5V或20MA。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）％F.S ( 程比為50:1 )，流量分辨率是0.1％ F.S。
品牌：日本小島KOFLOC(創(chuàng)立于1949年),氣體質(zhì)量流量控制器
型號：3660系列、8500系列、HFC-303系列、3810DS系列
類型：MFC氣體流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)
控制范圍：0.02ML—1000L/MIN
精度等級：0.2%FS—1.5%FS
響應(yīng)速度：0.5-1秒
適用介質(zhì)：所有氣體（含腐蝕和有毒氣體）
模擬信號：0-5V、4-20MA（可選）
氣路密封：氟橡膠、全金屬密封等等
氣路連接：1/2;1/4;1/8;3/8卡套、RC1/2;1/4、1/4;3/8VCR
工作壓差：2KPA—300KPA（同行業(yè)中可做到的最小壓差）
氣路材質(zhì)：SUS316
通信接口：RS-485、RS-232
產(chǎn)品氣密：1×10-11Pa·m3/s 或 1×10-8Pa·m3/s
耐壓：1.0Mpa（常壓）、3.4-6.8MPa(高壓大流量)
電壓：24V、±15V
特點(diǎn)：
1：另外配有LED數(shù)字顯示，產(chǎn)品面板上有可調(diào)節(jié)各種功能的按鈕，極其容易操作(另有分體式可選擇，顯示操作部分和控制器部分可分離)
2：氣體質(zhì)量流量控制器也可配置手動旋鈕式調(diào)節(jié)針閥，從而來時時調(diào)節(jié)流量大?。?810DS系列—低價格）
3：氣體質(zhì)量流量控制器采用直接質(zhì)量流量測量，因此實(shí)現(xiàn)了不受溫度、壓力變動影響的精確測量
4：氣體質(zhì)量流量控制器配有RS-485/232接口，能于其他外部設(shè)備實(shí)現(xiàn)通訊
5：氣體質(zhì)量流量控制器裝備自動調(diào)零功能，內(nèi)裝微處理器，達(dá)到高功能化
6：高分辨能力(14位以上)，通過采用AD、DA，能夠達(dá)到高精度應(yīng)對
7：氣體質(zhì)量流量控制器能夠設(shè)定裝置編號；通過CF值應(yīng)對氣體種類
小島KOFLOC還有《轉(zhuǎn)子、浮子流量計(jì)/控制器》、《比例電磁閥》、《精密針閥》等等...
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