X軸 |
測量范圍 |
100mm或200mm | |
分辨率 |
0.05μm | ||
測量方法 |
反射型光柵尺 | ||
驅(qū)動速度 |
80mm/s和手動 | ||
測量速度 |
0.02-5mm/s | ||
測量方向 |
向前/向后 | ||
直線度 |
0.8μm /mm,2μm/mm(當(dāng)X軸在水平方向上) | ||
指示精度
(20℃) |
±(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4)
±(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4)
±(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8)
±(0.8+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8)
L為驅(qū)動長度(mm) | ||
傾斜范圍 |
±45° | ||
Z2軸(立軸) |
垂直行程 |
300mm或500mm | |
分辨率 |
1μm | ||
測量方法 |
ABSQLUTE光柵尺 | ||
驅(qū)動速度 |
0-20mm/s和手動 | ||
Z1軸 |
測量范圍 |
±25mm | |
分辨率 |
0.2μm(CV-3100系列)
0.05μm(CV-4100系列) | ||
測量方法 |
光柵尺(CV-31000系列)
Laser holigage(CV-4100系列) | ||
指示精度
(20℃) |
±(2+14H/100)μm(CV-3100系列)
±(0.8+12H/00)0.05μm(CV-4100系列)
H為水平位置上的測量高度(mm) | ||
探針上下運(yùn)作 |
弧形運(yùn)動 | ||
探針方向 |
向上/向下 | ||
測力 |
30mN | ||
跟蹤角度 |
向上 |
77° | |
向下 |
87° | ||
探針針尖 |
半徑 |
25μm | |
|
材料 |
硬質(zhì)合金針尖 | |
基座尺寸(WxH) |
750x600mm或1000x450mm | ||
基座材料 |
花崗巖 | ||
重量 |
主機(jī) |
140kg(S4) 150kg(H4) 155kg(W4)
145lg(S8) 155kg(H8) 160kg(W8) | |
控制裝置 |
14kg | ||
遙控箱 |
0.9kg | ||
電源 |
100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
能耗 |
400W僅限主機(jī) |
型號 |
CV-3100S4/ CV-4100S4 |
CV-3100H4/ CV-4100H4 |
CV-3100V4/ CV-4100V4 |
X1軸測量范圍 |
100mm |
100mm |
100mm |
垂直行程 |
300mm電動立拄 |
500mm電動立拄 |
500mm電動立拄 |
花崗巖基座尺寸(WxD) |
600x450mm |
600x450mm |
1000x450mm |
尺寸(主機(jī)、WxDxH) |
741x450x905mm |
741x450x1105mm |
1118x450x1111mm |
重量(主機(jī)) |
140kg |
150kg |
155kg |
型號 |
CV-3100S8/ CV-4100S8 |
CV-3100H8/ CV-4100H8 |
CV-3100V8/ CV-4100V8 |
X1軸測量范圍 |
200mm |
200mm |
200mm |
垂直行程 |
300mm電動立拄 |
500mm電動立拄 |
500mm電動立拄 |
花崗巖基座尺寸(WxD) |
600x450mm |
600x450mm |
1000x450mm |
尺寸(主機(jī)、WxDxH) |
741x450x905mm |
767x450x1105mm |
1144x450x1111mm |
重量(主機(jī)) |
145kg |
155kg |
160kg |