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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

擴(kuò)散爐專供廠家---青島晨立電子有限公司

產(chǎn)品價(jià)格：￥100000

上架日期：2011-11-10 15:02:02

產(chǎn)地：青島即墨市

發(fā)貨地：山東青島即墨市

供應(yīng)數(shù)量：不限

最少起訂：1臺(tái)

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詳細(xì)說(shuō)明

產(chǎn)品描述

設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、太陽(yáng)能電池片、電力電子、光    電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。
設(shè)備特點(diǎn)：?jiǎn)卧M合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺(tái)、懸臂推拉舟等。
主要技術(shù)指標(biāo)：
★ 爐管數(shù)：      1～4管
★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)
★ 恒溫區(qū)長(zhǎng)度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)
760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
★ 單點(diǎn)穩(wěn)定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)
±0.5℃/24h (800～1280℃)
★ 氣源路數(shù)：    ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器
★ 氣體控制：    浮子/質(zhì)量流量計(jì)
★ 懸臂舟參數(shù)：速度：    20～1000 mm/min
                        最大行程：2000 mm
                        定位精度：±1 mm
                        最大載荷：17 Kg
★ 超凈工作臺(tái)：凈化等級(jí)：100級(jí)（萬(wàn)級(jí)廠房）
噪音：    ≤62dB（A）
振動(dòng)：    ≤3μm

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