鎳和316L不銹鋼材質(zhì), 高流動(dòng)速率, 耐高溫(Up to 450°C),承受壓力可達(dá)(3000 PSIG),1×10 - 9 atm cc /秒的氦泄漏率, 清洗和包裝在一個(gè)100級(jí)潔凈室內(nèi),去除粒子可達(dá)0.003μm,最大正反向壓差高達(dá)500 PSID
自1959年以來(lái),Mott 一直專注于多孔金屬的應(yīng)用和制造。是該領(lǐng)域中經(jīng)驗(yàn)最豐富、加工能力最強(qiáng)的公司。Mott 多孔金屬介質(zhì)是一種獨(dú)特的材料,有著廣泛的用途。作為全球多孔金屬介質(zhì)的領(lǐng)先制造商,Mott的使命在于不斷提高多孔金屬介質(zhì)的技術(shù),為客戶提供全方面高附加值的產(chǎn)品,包括在那些高效率,有流量規(guī)格要求的尖端操作環(huán)境中。其中專業(yè)生產(chǎn)的過(guò)濾器用于滿足半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中對(duì)生產(chǎn)用氣中顆粒去除??蛻舭↖nb、Samsung 和 Motorola。
Mott 研究人員最早分析用金屬過(guò)濾器替代膜式過(guò)濾器的可行性,這是一個(gè)非常有誘惑力的研究。最終Mott金屬過(guò)濾器達(dá)到了高效率、高強(qiáng)度的要求,并由于壽命大大延長(zhǎng)而進(jìn)一步降低了成本。而且,Mott金屬過(guò)濾器還消除了頻繁更換過(guò)濾器所需的人工成本和停機(jī)成本。
1994年,Mott 率先提出了使用點(diǎn)(POU)過(guò)濾系統(tǒng)5年品質(zhì)保證的承諾,向半導(dǎo)體行業(yè)展示了它的自信。其后不久,Mott又提出了大容量過(guò)濾器15年品質(zhì)保證的承諾。Mott仍然在不斷創(chuàng)新,例如GasShield PENTA 系列降低了金屬過(guò)濾器的壓差,樹(shù)立了多孔金屬性能的另一個(gè)里程碑。
現(xiàn)在 Mott 在高純氣體領(lǐng)域有以下系列的產(chǎn)品:
• Gasket鎳和不銹鋼材質(zhì)全金屬墊片式過(guò)濾器
• XP系列氣體過(guò)濾器
• Defender過(guò)濾器
• Sentry過(guò)濾器
• 使用點(diǎn)(POU)氣體過(guò)濾器
• 限流器
• 大流量過(guò)濾器
• PENTA系列過(guò)濾器
• IGS多孔金屬過(guò)濾器