精密在線輪廓檢測系統(tǒng),輪廓檢測系統(tǒng),在線檢測系統(tǒng)
激光位移傳感器 (2D)
輪廓/截面 瞬間測量/判定截面 可在特定的范圍內(nèi)實時測量截面面積。這樣便可以對輪廓和截面進行質(zhì)量控制。
角度/交點/位置 自動計算角度/交點 可根據(jù)表面輪廓實時測量/判定角度、交點及邊緣位置。
寬度/間隙 透過特定測量模式測量寬度/間隙 根據(jù)表面輪廓測量寬度及間隙。在進行高精度測量的同時不受目標物顏色的影響。
高度/變形 在特定的范圍內(nèi)多點測量高度 可測量平均高度、最大高度及最小高度。透過計算特定點的高度可測出變形或膨脹度。
分辨率:最高0.05um測量速度:最高9400Hz探頭線性度:最高0.5um掃描速率:最高1120m/min
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