在線尺寸測量
高速、高分辨率，同時保持穩(wěn)定，超精密測量。理想的精密階段，半導(dǎo)體檢驗/制造系統(tǒng)，以及超精密加工機。
?高分辨率的規(guī)模與信號的波長比光波的干涉儀系統(tǒng)approx138nm，
?穩(wěn)定性高，不受濕度，空氣壓力和空氣的擾動
?參考點精度：±0.1μ米
?準(zhǔn)確度：±0.04μ米或更好（測量長度：40毫米）
?完全非接觸式設(shè)計，返回錯誤幾乎是消除。
?特殊磁性和真空兼容型號
?使用低膨脹玻璃：- 0.7×10 - 6/℃（測量長度：10至420毫米）
