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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

等離子去光阻機(jī)

產(chǎn)品價(jià)格：￥0

上架日期：2012-03-04 09:04:20

產(chǎn)地：山東招遠(yuǎn)

發(fā)貨地：山東招遠(yuǎn)

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詳細(xì)說(shuō)明

采用電感耦合高密度等離子體(ICP)，能快速去除晶圓上之殘留光阻，達(dá)到晶圓表面潔凈，具有蝕刻率高，無(wú)電極污染，離子能量低，不損傷基板等優(yōu)點(diǎn)。

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