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此時(shí)Z軸的位移反饋信號(hào)直接檢測(cè)的是Z軸滾珠絲桿端的位移信號(hào),而電機(jī)和滾珠絲桿間齒輪傳動(dòng)的傳動(dòng)間隙都被包含在了閉環(huán)鏈中,因此Z軸滑臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度得到了很大提高,滿足了精度要求。