HONEYWELL 51401392-100進(jìn)一步的小型化使晶體管特性發(fā)生了更大的變化,尤其是柵極限電壓(Vth)*2,它可能影響SRAM的工作。Vth的變化有兩種形式。全面的Vth變化會(huì)出現(xiàn)在逐芯片或逐晶圓的情況下,晶體管形狀會(huì)隨柵極長度和柵極寬度不同等出現(xiàn)細(xì)微的差別。因此,它會(huì)在芯片中顯示出同方向的偏差。以前全面Vth的變化是SRAM設(shè)計(jì)人員不得不克服主HONEYWELL 51401392-100要挑戰(zhàn)。
相比之下,本機(jī)Vth變化是由半導(dǎo)體中的雜質(zhì)狀態(tài)的波動(dòng)引起的,甚至在同樣形狀的相鄰晶體管中也會(huì)出現(xiàn)。因此,它是隨機(jī)發(fā)生的且沒有方向性。隨著晶體管小型化的進(jìn)展,本機(jī)Vth變化的問題首先出現(xiàn)在90nm工藝中。這是采用45nm工藝的嵌入式SRAM應(yīng)用所必須面對的一個(gè)主要挑戰(zhàn)。
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