2、“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”科技重大專(zhuān)項(xiàng)“硅片集成傳輸系統(tǒng)研發(fā)和示范應(yīng)用”課題。本課題針對(duì)300mm硅片傳輸，為刻蝕機(jī)工藝設(shè)備商提供集成、定制化的傳輸平臺(tái)解決方案；形成IC裝備集成傳輸平臺(tái)批量化生產(chǎn)能力；實(shí)現(xiàn)集成傳輸平臺(tái)、EFEM系列產(chǎn)品示范應(yīng)用。CPCR-FR01B97R2M目前課題攻克了基于實(shí)時(shí)總線技術(shù)的系統(tǒng)操作控制器、高潔凈真空技術(shù)、多工藝腔應(yīng)用技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，完成了EFEM、傳輸腔TM、緩沖腔LLM關(guān)鍵設(shè)備原理樣機(jī)的制作，并對(duì)研制產(chǎn)品的性能指標(biāo)進(jìn)行了測(cè)試工作。
3、863重點(diǎn)項(xiàng)目“機(jī)器人模塊化技術(shù)的典型行業(yè)應(yīng)用示范”項(xiàng)目。重點(diǎn)開(kāi)展我國(guó)機(jī)器人模塊化標(biāo)準(zhǔn)體系、自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)機(jī)器人操作系統(tǒng)與模塊化硬件平臺(tái)等關(guān)鍵技術(shù)的研究。目前本項(xiàng)目已經(jīng)攻克了機(jī)器人網(wǎng)絡(luò)化模塊化控制系統(tǒng)、本體優(yōu)化設(shè)計(jì)、機(jī)器人應(yīng)用技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，在模塊化工業(yè)機(jī)器人方面完成了6kg、50kg、165kg、210kg、300kg等多種關(guān)節(jié)機(jī)器人產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，模塊化工業(yè)機(jī)器人逐步進(jìn)入汽車(chē)及汽車(chē)零部件、工程機(jī)械、電力電子、數(shù)碼印刷等行業(yè)。
4、“基于物聯(lián)網(wǎng)的工業(yè)機(jī)器人系統(tǒng)開(kāi)發(fā)和應(yīng)用”項(xiàng)目。CPCR-FR01B97R2M面向汽車(chē)及零部件行業(yè)基于物聯(lián)網(wǎng)的工業(yè)機(jī)器人系統(tǒng)，研制機(jī)器人客戶端、機(jī)器人WEB服務(wù)器、工業(yè)機(jī)器人無(wú)線通訊模塊、機(jī)器人遠(yuǎn)程監(jiān)控與故障診斷系統(tǒng)，填補(bǔ)我國(guó)物聯(lián)網(wǎng)在機(jī)器人行業(yè)應(yīng)用的空白。完成在通用汽車(chē)公司的示范應(yīng)用，完成了系統(tǒng)調(diào)試工作，試運(yùn)行效果良好?；诠疚锫?lián)網(wǎng)平臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)異地工業(yè)機(jī)器人系統(tǒng)遠(yuǎn)程監(jiān)控與故障診斷，整體水平達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。
5、863重點(diǎn)項(xiàng)目“經(jīng)濟(jì)型機(jī)械加工機(jī)器人及集成應(yīng)用”項(xiàng)目。面向焊接、注塑等作業(yè)需求，針對(duì)重型機(jī)械、塑膠行業(yè)機(jī)器人焊接、修整、注塑等作業(yè)的典型應(yīng)用，研制3自由度以上經(jīng)濟(jì)型機(jī)械加工機(jī)器人系統(tǒng)。目前，完成了6Kg機(jī)器人、6Kg加長(zhǎng)型弧焊機(jī)器人和20Kg機(jī)器人三種機(jī)器人產(chǎn)品樣機(jī)的研制，正在進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化推廣。
6、中國(guó)科學(xué)院院地合作項(xiàng)目“數(shù)字化柔性自動(dòng)化成套生產(chǎn)線裝備”項(xiàng)目。本項(xiàng)目面向汽車(chē)及零部件行業(yè)的需求，開(kāi)展重載搬運(yùn)機(jī)器人、AGV移動(dòng)機(jī)器人、智能監(jiān)控系統(tǒng)等數(shù)字化柔性自動(dòng)化成套生產(chǎn)線裝備核心部件的研制工作，意在打破國(guó)外在該領(lǐng)域的壟斷地位。目前項(xiàng)目已完成了針對(duì)數(shù)字化柔性自動(dòng)化成套生產(chǎn)線核心裝備重載搬運(yùn)機(jī)器人、AGV移動(dòng)機(jī)器人、智能監(jiān)控系統(tǒng)的示范應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)化推廣工作。
7、863重點(diǎn)課題“50公斤級(jí)便攜式自助觀測(cè)系統(tǒng)開(kāi)發(fā)”。CPCR-FR01B97R2M本課題面向海洋環(huán)境探測(cè)和水下觀測(cè)的需求，研制具有全部自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的50公斤級(jí)便攜式自主觀測(cè)系統(tǒng)產(chǎn)品樣機(jī)。目前，課題已經(jīng)完成了樣機(jī)的改進(jìn)加工、陸上調(diào)試、水池試驗(yàn)、湖上試驗(yàn)和海上試驗(yàn)，2013年9月2日至8日，便攜式自主觀測(cè)系統(tǒng)搭載中國(guó)科學(xué)院“實(shí)驗(yàn)1”號(hào)科考船參加了863組織的規(guī)范化海試試驗(yàn)。
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