具有最先進可靠的光學測量系統(tǒng):滑動部件采用已被驗證為最可靠耐用的高精度五軸承系統(tǒng)設計,保證光學機械系統(tǒng)的穩(wěn)定性,具有優(yōu)異的重復定位性和高等級的測量精度。
光柵玻璃尺:采用先進的光柵制作技術,可制作各種規(guī)格的高精度光柵玻璃尺,最長可做到3000mm(不接長)。
柵距:0.01mm(100線對/mm)、0.02mm(50線對/mm)、0.04mm(25線對/mm)
精度:±0.008mm、±0.01mm、±0.015mm、(20℃ 1000mm)
參考標記:間隔25mm、間隔50mm、間隔100mm、間隔200mm、或全量程任意位置設一個絕對位置參考點(ABS)
量程:1000mm以內任意選擇
分辨率:0.2u---25u
響應速度:25m/min、 60m/min
工作溫度:0-45℃
存儲溫度:-40℃-55℃