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-135℃水汽捕集泵   -135℃ Water vapor cryopump

應(yīng)用原理:

    在使用油擴散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時間長，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。

    深冷泵的工作原理：將一個能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間（可縮短60-90%的抽氣時間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個數(shù)量級，達到10^-8 Torr、10^-5 Pa)。

在實際應(yīng)用當中，根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類（見圖）：

1、水汽捕集器

    它的制冷盤管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復(fù)到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜，影響下次抽真空。 

2、低溫冷阱

    放在油擴散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴散泵返油，同時也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無需除霜裝置。

根據(jù)需要,二者可以分別安裝也可以同時安裝.

    本公司研發(fā)生產(chǎn)的-135℃深冷水汽捕集泵，采用單臺壓縮機、自動復(fù)疊制冷方式、進口名牌壓縮機及制冷配件、環(huán)?；旌闲椭评鋭┥a(chǎn)，替代液氮，節(jié)約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護方便等特點，其性能指標在國內(nèi)處于領(lǐng)先地位，達到甚至超過國際先進水平。

主要的性能特點

1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時間60-90%；

2、降溫迅速，3分鐘內(nèi)制冷到-120℃，最低可到-150℃；

3、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，5分鐘可再降溫;

4、一臺設(shè)備可設(shè)計兩路負載輸出；

5、進口壓縮機，環(huán)?；旌闲椭评鋭?/span>;

6、觸摸屏+PLC=完善的自動化控制；

7、具有兩路負載入口和出口溫度顯示、本機溫  度顯示；

8、當待機溫度到達后有指示燈提示，可以開始制冷；

9、除霜溫度自由設(shè)定；

10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示；

11、缺水、水溫過高報警；  

12、壓縮機排氣過高、壓力過高保護；

13、電源斷電、缺相報警；

14、可本地、遠程控制自由轉(zhuǎn)換；

15、RS485計算機數(shù)據(jù)接口，計算機可讀取溫度數(shù)據(jù)及控制。

-135℃水汽捕集泵         -135℃ Water vapor cryopump

冷凝盤管的制作

根據(jù)設(shè)備的實際情況，我們可以為您制作不同形狀的冷凝盤管。

輸入、輸出的接口

冷凝盤管從真空腔內(nèi)穿過腔壁時，由于管道溫度與腔壁溫差較大，如果直接焊接，冷量將會有較大損失，腔壁結(jié)霜嚴重。這就需要一個長約20厘米的薄壁不銹鋼管做成的絕熱裝置來解決，它可以做成活口（見圖），也可以不用密封墊，直接焊接到真空腔壁。