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-135℃水汽捕集泵   -135℃ Water vapor cryopump

應(yīng)用原理:

    在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長(zhǎng)，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類(lèi)問(wèn)題的上佳選擇。

    深冷泵的工作原理：將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤(pán)管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過(guò)其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10^-8 Torr、10^-5 Pa)。

在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類(lèi)（見(jiàn)圖）：

1、水汽捕集器

    它的制冷盤(pán)管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場(chǎng)合。盤(pán)管需要有加熱除霜裝置，使盤(pán)管每次開(kāi)門(mén)之前恢復(fù)到常溫，避免低溫盤(pán)管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜，影響下次抽真空。 

2、低溫冷阱

    放在油擴(kuò)散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴(kuò)散泵返油，同時(shí)也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無(wú)需除霜裝置。

根據(jù)需要,二者可以分別安裝也可以同時(shí)安裝.

    本公司研發(fā)生產(chǎn)的-135℃深冷水汽捕集泵，采用單臺(tái)壓縮機(jī)、自動(dòng)復(fù)疊制冷方式、進(jìn)口名牌壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)保混合型制冷劑生產(chǎn)，替代液氮，節(jié)約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護(hù)方便等特點(diǎn)，其性能指標(biāo)在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地位，達(dá)到甚至超過(guò)國(guó)際先進(jìn)水平。

主要的性能特點(diǎn)

1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時(shí)間60-90%；

2、降溫迅速，3分鐘內(nèi)制冷到-120℃，最低可到-150℃；

3、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，5分鐘可再降溫;

4、一臺(tái)設(shè)備可設(shè)計(jì)兩路負(fù)載輸出；

5、進(jìn)口壓縮機(jī)，環(huán)?；旌闲椭评鋭?/span>;

6、觸摸屏+PLC=完善的自動(dòng)化控制；

7、具有兩路負(fù)載入口和出口溫度顯示、本機(jī)溫  度顯示；

8、當(dāng)待機(jī)溫度到達(dá)后有指示燈提示，可以開(kāi)始制冷；

9、除霜溫度自由設(shè)定；

10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示；

11、缺水、水溫過(guò)高報(bào)警；  

12、壓縮機(jī)排氣過(guò)高、壓力過(guò)高保護(hù)；

13、電源斷電、缺相報(bào)警；

14、可本地、遠(yuǎn)程控制自由轉(zhuǎn)換；

15、RS485計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)接口，計(jì)算機(jī)可讀取溫度數(shù)據(jù)及控制。

-135℃水汽捕集泵         -135℃ Water vapor cryopump

冷凝盤(pán)管的制作

根據(jù)設(shè)備的實(shí)際情況，我們可以為您制作不同形狀的冷凝盤(pán)管。

輸入、輸出的接口

冷凝盤(pán)管從真空腔內(nèi)穿過(guò)腔壁時(shí)，由于管道溫度與腔壁溫差較大，如果直接焊接，冷量將會(huì)有較大損失，腔壁結(jié)霜嚴(yán)重。這就需要一個(gè)長(zhǎng)約20厘米的薄壁不銹鋼管做成的絕熱裝置來(lái)解決，它可以做成活口（見(jiàn)圖），也可以不用密封墊，直接焊接到真空腔壁。