高純氣體露點(diǎn)變送器Pura
品 牌:密析爾
產(chǎn) 地:英國
高純氣體露點(diǎn)變送器Pura產(chǎn)品簡介
密析爾儀表目前向市場推出了簡單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案,用來在線測量露點(diǎn)值,下限低至驚人的-120℃ (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。
Pura露點(diǎn)變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn),結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的首個(gè)適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用場合,測量微量濕度水平的一體式變送器。
高純氣體露點(diǎn)變送器Pura產(chǎn)品特點(diǎn)
測量下限-120℃露點(diǎn) (1 ppbV)
測量穩(wěn)定,重復(fù)性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數(shù)字輸出
安裝簡便,設(shè)計(jì)緊湊小巧
VCR過程接口
顯示/報(bào)警單元可選
高純氣體露點(diǎn)變送器Pura技術(shù)參數(shù)
傳感器類型:密析爾陶瓷濕度傳感器
量 程:-120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C)
精 度:±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分 辨 率:0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1 ~
壓 力:最低 10-9 torr; 最大 24 MPa
氣體流量:1 ~ 5 Nl/min
電 源:通常 24 V DC, 最低10 V ~ 最高28 V , 最大電流 25 mA
輸 出:4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
最大負(fù)載= 100Ω+ 50Ωx (V電源-8)
輸出出錯(cuò)狀態(tài):標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23mA=傳感器故障;20 mA=超上限;4 mA=超下限
傳感器套筒:不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光
氣路連接端口:Premium 或 OEM 型:¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型:½" m VCR 接口
安裝配置:Premium或OEM 型:120.00mm 長,氣路端口的端面密封。無需預(yù)留管路空隙
底座上有2個(gè)M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔,斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型:適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中
尺 寸:Premium或OEM型:120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型:132 x
重 量:Premium或OEM型:450g
Pura Sensor 型:
包 裝:Pura:雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型:單層包裝
所有選配件:獨(dú)立包裝運(yùn)輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作