冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力低、抽氣速率最大的真空泵,廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優(yōu)勢,被廣泛的應用于科學研究實驗室、乃至工業(yè)生產(chǎn)等眾多領域,如半導體材料制作、平板顯示器生產(chǎn)/測試設備、太陽能制造業(yè)、真空鍍膜、熱真空系統(tǒng)等。
冷凝泵適用介質:清水 冷凝泵適用介質溫度:0℃ 至 120℃ 冷凝泵使用范圍
100N130和150N110型可輸送120℃以內(nèi)的液體,但其他泵輸送液溫不能超過80℃。
冷凝泵流量范圍:12-120m3/h
冷凝泵揚程范圍:38-135 m
冷凝泵型號說明:
3N6X2和4N6A的含義
3、4-吸入管直徑(in);
N--臥式懸臂冷凝水泵;
6--設計單級揚程被10除后取整數(shù),即單級揚程為60米左右;
2--級數(shù),表示該泵有兩級;
A--葉輪經(jīng)過切割(外徑減小)。
結構說明
折疊品種
N型冷凝泵為臥式懸臂單級、兩級離心泵,共分8個品種。單級的有3N6、4N6、100N130如圖1;兩級的有2.5N3X2、3N6X2、4N6X2如圖2;單級帶誘導輪的有6N6、150N110如圖
折疊支承部分
支承部分主要件有托架、前后鈾承壓蓋和鈾組合定位在托架上的前后徑向滾珠鈾承上,滾球鈾承亦承受未被平衡的鈾向力。用稀油潤滑,油量可從油標看出。前后鈾承壓蓋均裝有毛氈密封圈做為鈾封以防漏油。管堵處的孔用來灌油。清洗換油時從絲孔將油放出。
折疊密封和傳動
泵采用軟填料密封,在鈾封處裝有可更換的鈾套。泵通過彈性聯(lián)鈾器由電動機驅動,從傳動方向看,泵為逆時針方向旋轉。
折疊?工作部分
單級:主要件有硅黃銅80-3鑄成的葉輪通過鍵固定由45號優(yōu)質碳素制成的軸上,葉輪裝在由耐磨鑄鐵HT20-40鑄成的泵體、泵蓋所構成的泵工作室內(nèi),動力機通過聯(lián)軸器帶動支在軸承中的軸和葉輪,泵就工作,耐磨鑄鐵HT20-40制成的軸套,與襯套(6N6和4N6X2)之間有著水潤滑的滑動軸承的作用,泵體后的填料函內(nèi)裝有填料環(huán),及填料油浸石墨石棉繩,開口填料壓蓋,借助加長雙頭螺栓壓緊填料,并可調(diào)整松緊,外部引入高于大氣壓的密封水,通過接管對準填料環(huán),并在整個填料函內(nèi)就形成隔絕空氣侵入泵內(nèi)的密封腔,同時阻止泵內(nèi)水向外流,僅有少量的潤滑水滴出。在葉輪上開有平衡孔,使高壓區(qū)與進口低壓區(qū)溝通從而消除軸向推力,為了防止磨損泵體和泵蓋,于修理,達到良好密封,在泵體、泵蓋上裝有密封環(huán),泵體上部備有絲孔做為放氣用,停車檢修時,泵中之水從絲孔放出,為了方便泵體和泵蓋的拆卸備有起蓋螺釘(蓋、體通用)進出口均備有測壓孔。
兩級:其余與單級相同,僅泵蓋、泵體和中間導葉構成兩個工作室,在兩室內(nèi)相應裝有硅黃銅80-3鑄成的級葉輪和鑄鐵HT20-40CuMo制成的葉輪。