巖田無(wú)油渦旋式真空泵
1、巖田無(wú)油渦旋真空泵不會(huì)污染真空管路和腔體，也不會(huì)造成泵體周圍的環(huán)境污染
2、iwata無(wú)油渦旋真空泵低振動(dòng)、低噪音，性能穩(wěn)定
3、無(wú)油渦旋真空泵不使用油和冷卻水，可以在大氣壓附近連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，操作簡(jiǎn)單
5、巖田無(wú)油渦旋泵極限真空低，應(yīng)用廣泛
巖田無(wú)油渦旋真空泵應(yīng)用范圍:
電子加速器，同步輻射光速線真空抽氣
渦輪分子泵，羅茨泵等機(jī)械泵的預(yù)抽真空
真空固定
真空搬運(yùn)
真空成型
真空泄漏檢測(cè)
真空脫氣
真空干燥
冷凝泵再生
真空包裝
濺射裝置
曝光裝置
真空鍍膜
