明電舍(MEIDENSHA)真空電容器 明電舍MEIDEN可變真空電容器 明電舍MEIDEN固定真空電容器
明電舍通過40年對真空斷路器的開發(fā)制造，積蓄了該領(lǐng)域的豐富技術(shù)經(jīng)驗，成功開發(fā)制造出高性能,高信賴的真空電容器。真空機器的制造，通常有兩種方式1）由真空泵不停排氣方式,2)制造中的真空封閉方式。本公司的真空電容器，采用了真空封閉方式進行制造，并且采用了長時間保持真空狀態(tài)的構(gòu)造。其產(chǎn)品用于：液晶屏面板制造裝置領(lǐng)域，太陽能電池板制造領(lǐng)域，醫(yī)療?測量機器領(lǐng)域，半導體制造裝置領(lǐng)域，廣播電視播放領(lǐng)域，科學研究領(lǐng)域等官方應用于阻抗箱，匹配箱 阻抗匹配RF系統(tǒng) matching box上使用
真空電容器MEIVAC的特征是
高耐電壓 真空的耐電壓高，易于實現(xiàn)小型化；
低損失 可以適用于高RF頻率；
大電流通電 無整流子結(jié)構(gòu)形式，適合大電流；
高信賴性 具有自我恢復性，可以承受瞬間過電壓；
SCF-153.5H52WR
SCV-514M 5KV-1400PF
SCV-152.5
SCV-151
SCV-204
SVC-514M
SCV-520M
SCV-205G
SCV-155M
SCF-200.5C
SCF-53Z
SCF-201C
SCF-152Z
BDS5-3040
SCF-151Z
SCV-7.55
SCF-151.5Z
SCV-520M
SCF-55Z
SCV-514M
KIU-KR DC110V 14VA
NTG-81 0.2-1.0A 220V 50HZ
KI0-LGR 3A DC110V 0.5-2.0A
KI0-C6R DC110V 5A 50HZ 18VA
NTG-91 0.1-1.0A 220V 50HZ
SCV-152.5
SCV-250.8D
SCV-202D
SCV-104G
SCV-510M
SCV-1014G
SCV-151H55UW
SCV415H65UW
SCV-55FH55UW
SCV-85H55UW-NP
SCV-515G
SCV-152.5GT
SCV-152.5H55UW-C
SCV-125H65UW-C
SCV-415H65UW-C
SCV-85H55UW-C
SCV-510H55UW-C
SCV-415H55UW-C
SCF-200.5G
SCF-150.75Z
SCF-150.5Z
SCF-153.5H52WR
規(guī)格
形式
SCV-155M
SCV-510M
SCV-514M
高峰試驗電壓 [kVp]
15
5
5
靜電容量[pF]
50-500
50-1000
90-1400
RF動作電壓 [kVp]
9
3
3
直線可變性 (pF/N)
42±4
(65pF 以上)
88±6
(80pF 以上)
115±8
(150pF 以上)
轉(zhuǎn)速（回）
12±1
12±1
12±1
最大容許電流 [Arms]
(at 13.56MHz)
100
100
100
回轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩（N?cm）
(kgf?cm)
24.5
2.5
24.5
2.5
24.5
2.5
重量（kg）
尺寸（長度×直徑） (mm)
1.3
140×φ73
1.35
140×φ73
1.4
140×φ73
真空電容器 MEIVAC
MEIVAC真空電容器系列，是基于明電舍的真空技術(shù)而開發(fā)的一種真空電容器。
真空電容器有以下用途
1 作為半導體薄膜制造設(shè)備的阻抗整合器
2 通信器材的發(fā)報線路，同調(diào)回路
3 誘電加熱設(shè)備的共振回路
4 各種高頻率電源的電壓增幅回路
近年來，由于半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，真空電容器的用途擴大至CVD，蝕刻，滴濺設(shè)備等半導體薄膜制造設(shè)備阻抗
整合應用領(lǐng)域。
真空可變電容器
真空可變電容器是通過移動真空容器內(nèi)的電極而實現(xiàn)靜電容量的變化的電容器。
除了了裝置115MM標準的型號，還搭載了耐高壓特殊電極的黃金型號，同時通過風箱構(gòu)造以及增強材質(zhì)的大電
流低扭矩型（H系列）。
標準型特點
1 壽命長
采用高強度的不銹鋼風箱，實現(xiàn)可變范圍二分之一以下的風箱壽命達100萬循環(huán)。同時通過高強度特殊螺釘
構(gòu)造，在可變范圍二分之一的情況下實現(xiàn)總回轉(zhuǎn)數(shù)1000萬以上的長壽命。
2微型化
陶瓷中心栓與外圍共振器一體化從而是微型化得以實現(xiàn)。
統(tǒng)一設(shè)為全長140MM（裝置標準115MM），容易實現(xiàn)機器安裝時的可更換性。
強電流低扭矩型特點
強電流通電
風扇采用銅合金新材料，可以實現(xiàn)強電流通電。（強電流規(guī)格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、
160Arms)
低扭矩
H系列內(nèi)部構(gòu)造得到改良，小于18N.cm的低扭矩使得驅(qū)動馬達的微型化得以實現(xiàn)。
長壽命
采用高強度不銹鋼風箱，通過可變范圍二分之一以下的風箱壽命100萬回轉(zhuǎn)，以及高強度特殊螺釘構(gòu)造，
能夠?qū)崿F(xiàn)可變范圍二分之一的總回轉(zhuǎn)達到1500萬以上的超長壽命。
真空固定電容器
真空固定電容器的誘導體為真空，使用損耗較低的陶瓷作為絕緣體，極大的抑制了損耗系數(shù)。從而使電容器即
實現(xiàn)了微型化，又能耐高壓和承受強大電流。
特點
耐高壓
由于絕緣體是真空，絕緣體能承受很高的電壓，即使在高電壓回路中也安然無恙。
低損耗
真空誘電體能極大降低損耗。誘電體的損害只出現(xiàn)在構(gòu)成真空容器的電容器兩端的絕緣陶瓷以及導航用陶瓷
。
微型化
通過采用耐高壓的特殊電極實現(xiàn)微型化。
型號
峰值試驗電壓
RF動作電壓
靜電容量
最大許可容量電容
回轉(zhuǎn)行程
回轉(zhuǎn)數(shù)
尺寸
Type debion
Peak test
Peak working
Capacitance
Max. RF current
Max.torque
Turns
Dimensions
voltage
voltage
(Min.-Max.)
(13.56MHz)
(Length×Diameter)
(50/60Hz)
(13.56MHz)
空冷/Air cooled
SCV-55
5kVp
3kVp
30-500pF
100Arms
24.5N?cm
12回轉(zhuǎn)
L140×φ60mm
SCV-7.55
7.5kVp
4.5kVp
30-500pF
SCV-151
15kVp
9kVp
10-100pF
SCV-152
12-200pF
SCV-152.5
30-250pF
SCV-510M
5kVp
3kVp
50-1000pF
L140×φ73mm
SCV-514M
90-1400pF
SCV-155M
15kVp
9kVp
50-500pF
SCV-520M
5kVp
3kVp
85-2000pF
L140×φ89mm
SCV-1010
10kVp
6kVp
80-1000pF
SCV-204
20kVp
12kVp
80-450pF
SCV-155G
15kVp
9kVp
25-500pF
90Arms
24.5N?cm
12回轉(zhuǎn)
L140×φ62mm
SCV-251G
25kVp
15kVp
10-100pF
SCV-252G
12-200pF
SCV-252.5G
25-250pF
SCV-1010G
10kVp
6kVp
50-1000pF
L140×φ73mm
SCV-1014G
90-1400pF
SCV-205G
20kVp
12kVp
50-500pF
SCV-1020G
10kVp
6kVp
85-2000pF
L140×φ89mm
SCV-1510G
15kVp
9kVp
80-1000pF
SCV-250.3G
25kVp
15kVp
6-30pF
27Arms
19.6N?cm
5.5回轉(zhuǎn)
L100×φ60mm
SCV-250.8G
10-80pF
72Arms
SCV-300.2G
30kVp
18kVp
6-20pF
21Arms
SCV-104G
10kVp
6kVp
60-450pF
90Arms
L100×φ63mm
SCV-201.7G
20kVp
12kVp
45-170pF
SCV-7.55H65
7.5kVp
4.5kVp
20-500pF
110Arms
18N?cm
14回轉(zhuǎn)
L154×φ65mm
SCV-151H65
15kVp
9kVp
20-100pF
SCV-152H65
20-200pF
SCV-152.5H65
20-250pF
SCV-510H82
5kVp
3kVp
25-1000pF
130Arms
18N?cm
14回轉(zhuǎn)
L154×φ82mm
SCV-105H82
10kVp
6kVp
25-500pF
SCV-154H82
15kVp
9kVp
25-400pF
SCV-202H82
20kVp
12kVp
25-200pF
SCV-202.2H84
20kVp
12kVp
15-220pF
130Arms
18N?cm
10.5回轉(zhuǎn)
L125×φ84mm
SCV-250.8H84
25kVp
15kVp
12-80pF
SCV-514H94
5kVp
3kVp
30-1400pF
150Arms
18N?cm
14回轉(zhuǎn)
L154×φ94mm
SCV-107H94
10kVp
6kVp
30-700pF
SCV-155H94
15kVp
9kVp
30-500pF
SCV-202.5H94
20kVp
12kVp
30-250pF
SCV-520H110
5kVp
3kVp
35-2000pF
160Arms
18N?cm
14回轉(zhuǎn)
L154×φ110mm
SCV-1010H110
10kVp
6kVp
35-1000pF
SCV-205H110
20kVp
12kVp
35-500pF
SCV-315H65G
3kVp
1.8kVp
20-1500pF
100Arms
18N?cm
14回轉(zhuǎn)
L154×φ65mm
SCV-105H65G
10kVp
6kVp
20-500pF
SCV-201H65G
20kVp
12kVp
20-100pF
SCV-202H65G
20-200pF
SCV-202.5H65G
20-250pF
SCV-1010H82G
10kVp
6kVp
25-1000pF
120Arms
18N?cm
14回轉(zhuǎn)
L154×φ82mm
SCV-155H82G
15kVp
9kVp
25-500pF
SCV-204H82G
20kVp
12kVp
25-400pF
SCV-252H82G
25kVp
15kVp
25-200pF
SCV-300.2H84G
30kVp
18kVp
10-20pF
120Arms
18N?cm
10.5回轉(zhuǎn)
L125×φ84mm
SCV-1014H94G
10kVp
6kVp
30-1400pF
140Arms
18N?cm
14回轉(zhuǎn)
L154×φ94mm
SCV-157H94G
15kVp
9kVp
30-700pF
SCV-205H94G
20kVp
12kVp
30-500pF
SCV-252.5H94G
25kVp
15kVp
30-250pF
SCV-1020H110G
10kVp
6kVp
35-2000pF
150Arms
18N?cm
14回轉(zhuǎn)
L154×φ1
SCV-1510H110G
15kVp
9kVp
35-1000pF
SCV-255H110G
25kVp
15kVp
35-500pF
型號列舉
MEIDENSHA
SCV-150.6HA55UW-C
MEIDENSHA
SCV-150.75HA55UW-C
MEIDENSHA
SCV-200.5H55UW-C
MEIDENSHA
SCV-151H55UW-C
MEIDENSHA
SCV-201H55UW-C
MEIDENSHA
SCV-151.5FH55UW-C
MEIDENSHA
SCV-152.5H55UW-※2
MEIDENSHA
SCV-83.5FH55UW-C
MEIDENSHA
SCV-55FH55UW-C
MEIDENSHA
SCV-85H55UW-C
MEIDENSHA
SCV-310H55UW-C※2
MEIDENSHA
SCV-510H55UW-C
MEIDENSHA
SCV-415H55UW-C
MEIDENSHA
SCV-125H65UW-C※2※3
MEIDENSHA
SCV-155H65UW-C
MEIDENSHA
SCV-810H65UW-C
MEIDENSHA
SCV-1010H65UW-C
MEIDENSHA
SCV-415H65UW-C※2※3
MEIDENSHA
SCV-515H65UW-C
MEIDENSHA
VP110
MEIDENSHA
VP150
MEIDENSHA
UW70
MEIDENSHA
SCV-320H65UW-C
MEIDENSHA
SCV-715H70UW-C
MEIDENSHA
FS36S FS36
MEIDENSHA
FS43
MEIDENSHA
FC52
MEIDENSHA
FC52A FC62
MEIDENSHA
FH48C FH65C
MEIDENSHA
FH52WR
MEIDENSHA
FHA52WR
MEIDENSHA
VP94L
MEIDENSHA
SCV-251P94L
MEIDENSHA
SCV-202.2P94L
MEIDENSHA
SCV-153.5P94L
MEIDENSHA
SCV-350.3P110
MEIDENSHA
SCV-351P110
MEIDENSHA
SCV-201.5P110C
MEIDENSHA
SCV-251.5P110C
MEIDENSHA
VP110
MEIDENSHA
SCV-302P110
MEIDENSHA
SCV-202.5P110C
MEIDENSHA
SCV-252.5P110C
MEIDENSHA
SCV-253.5P110
MEIDENSHA
SCV-205P110
MEIDENSHA
VP65
MEIDENSHA
SCV-201P65
MEIDENSHA
SCV-152P65C
MEIDENSHA
SCV-202P65
MEIDENSHA
SCV-152.5P65
MEIDENSHA
SCV-202.5P65
MEIDENSHA
SCV-104P65FW
MEIDENSHA
SCV-124H65FW
MEIDENSHA
SCV-7.55P65FW
MEIDENSHA
SCV-105P65FW
MEIDENSHA
SCV-125P65DW
MEIDENSHA
SCV-255P110
MEIDENSHA
SCV-158P110FW 15
MEIDENSHA
SCV-1510P110W 40
MEIDENSHA
SCV-1051P110W 40
MEIDENSHA
SCV-520P110W 40
MEIDENSHA
SCV-820P110W 40
MEIDENSHA
SCV-325P110FW 15
MEIDENSHA
SCV-340P110W 45
MEIDENSHA
VP82
MEIDENSHA
SCV-155P65DW
MEIDENSHA
SCV-310P65FW
MEIDENSHA
SCV-410P65FW
MEIDENSHA
SCV-510P65W
MEIDENSHA
SCV-810P65W
MEIDENSHA
SCV-315P65DW
MEIDENSHA
SCV-415P65DW
MEIDENSHA
SCV-202P82
MEIDENSHA
SCV-155P82W
MEIDENSHA
SCV-1010P82W
MEIDENSHA
SCV-515P82W
MEIDENSHA
SCV-520P82W
MEIDENSHA
SCV-200.5P82L
MEIDENSHA
SCV-250.8P82L
MEIDENSHA
SCV-201P82L
MEIDENSHA
SCV-251P82L
MEIDENSHA
SCV-201.5P82L
MEIDENSHA
SCV-202P82L
MEIDENSHA
SCV-202.2P82L
MEIDENSHA
SCV-103.5P82LW
MEIDENSHA
SCV-84P82LW
MEIDENSHA
VP150
MEIDENSHA
SCV-405P150
MEIDENSHA
SCV-1525P150W
MEIDENSHA
SCV-560P150W
MEIDENSHA
SCV-202.5P94 25
MEIDENSHA
"SCV-155P94
SCV-515P94 ""25"
MEIDENSHA
SCV-520P94W 35
MEIDENSHA
SCV-523P94W 45
MEIDENSHA
SCV-150.5
MEIDENSHA
SCV-151
MEIDENSHA
SCV-152
MEIDENSHA
SCV-155G
MEIDENSHA
SCV-152.5
MEIDENSHA
type2
MEIDENSHA
SCV-7.55
MEIDENSHA
SCV-55
MEIDENSHA
SCV-155M
MEIDENSHA
SCV-205G
MEIDENSHA
SCV-510M
MEIDENSHA
SCV-1010G
MEIDENSHA
SCV-514M
MEIDENSHA
SCV-1014G
MEIDENSHA
SCV-204
MEIDENSHA
SCV-1010
MEIDENSHA
SCV-520M
MEIDENSHA
SCV-201.7G
MEIDENSHA
SCV-104G
MEIDENSHA
SCV-300.2G
MEIDENSHA
SCV-250.3G
MEIDENSHA
SCV-250.8G
MEIDENSHA
SCV-151GT
MEIDENSHA
SCV-152.5GT
MEIDENSHA
SCV-155GT
MEIDENSHA
SCV-510GT
MEIDENSHA
SCV-515GT
MEIDENSHA
SCV-150.75GTB
MEIDENSHA
SCV-53GTB
MEIDENSHA
SCF-300.25H48C
MEIDENSHA
SCF-300.5H48C
MEIDENSHA
SCF-300.75H48C
MEIDENSHA
SCF-301H48C
MEIDENSHA
SCF-351H48C
MEIDENSHA
SCF-251.25H48C
MEIDENSHA
SCF-251.5H48C
MEIDENSHA
FHA52
MEIDENSHA
SCV-151HA52WR
MEIDENSHA
SCV-151.5HA52WR
MEIDENSHA
SCV-152HA52WR
MEIDENSHA
SCV-153HA52WR
MEIDENSHA
SCV-125HA52WR
MEIDENSHA
SCV-510HA52WR
MEIDENSHA
SCF-251.75H48C
MEIDENSHA
SCF-252H48C
MEIDENSHA
SCF-151H52WR
MEIDENSHA
SCF-201H52WR
MEIDENSHA
SCF-151.5H52WR
MEIDENSHA
SCF-152H52WR
MEIDENSHA
SCF-202H52WR
MEIDENSHA
SCF-152.1H52WR
MEIDENSHA
SCF-152.5H52WR
MEIDENSHA
SCF-153H52WR
MEIDENSHA
SCF-153.5H52WR
MEIDENSHA
SCF-153.7H52WR
MEIDENSHA
SCF-124H52WR
MEIDENSHA
FH52
MEIDENSHA
SCF-124.5H52WR
MEIDENSHA
SCF-125H52WR
MEIDENSHA
SCF-105.5H52WR
MEIDENSHA
SCF-106H52WR
MEIDENSHA
SCF-106.5H52WR
MEIDENSHA
SCF-107H52WR
MEIDENSHA
SCF-56H52WR
MEIDENSHA
SCF-107.5H52WR
MEIDENSHA
SCF-510H52WR
MEIDENSHA
SCF-810H52WR
MEIDENSHA
SCF-512.5H52WR
MEIDENSHA
SCF-315H52WR
MEIDENSHA
SCF-515H52WR
MEIDENSHA
SCF-317.5H52WR
MEIDENSHA
SCF-320H52WR
MEIDENSHA
FH65C
MEIDENSHA
SCF-350.5H65C
MEIDENSHA
SCF-351H65C
MEIDENSHA
SCF-351.5H65C
MEIDENSHA
SCF-351.75H65C
MEIDENSHA
SCF-352H65C
MEIDENSHA
SCF-352.5H65C
MEIDENSHA
FC52
MEIDENSHA
SCF-150.5C
MEIDENSHA
SCF-151C
MEIDENSHA
SCF-151.5C
MEIDENSHA
SCF-152C
MEIDENSHA
SCF-150.5CA
MEIDENSHA
FS36S
MEIDENSHA
SCF-51S
MEIDENSHA
SCF-51.1S
MEIDENSHA
SCF-51.2S
MEIDENSHA
"SCF-51.3S
MEIDENSHA
SCF-51.4S
MEIDENSHA
SCF-150.8CA
MEIDENSHA
SCF-150.9CA
MEIDENSHA
SCF-51.5S
MEIDENSHA
SCF-52S
MEIDENSHA
FC52A
MEIDENSHA
FC62
MEIDENSHA
SCF-151CA
MEIDENSHA
SCF-151.2CA
MEIDENSHA
SCF-151.5CA
MEIDENSHA
SCF-151.8CA
MEIDENSHA
SCF-152.1CA
MEIDENSHA
SCF-200.1C
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SCV-514M 5KV-1400PF
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MEIDENSHA
SCV-1510H110G
MEIDENSHA
SCV-255H110G
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