薄膜測(cè)厚儀用于測(cè)量較軟或較硬材料薄膜厚度,根據(jù)測(cè)量材料可選擇不同測(cè)力范圍滿足不同測(cè)量任務(wù)需求。低測(cè)力可達(dá)0.06N,高分辨率0.01μm。
分辨率:0.1μm 測(cè)力:0.3-1.3N(根據(jù)需要選擇) |
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分辨率:1μm 測(cè)力:0.4-1.6N(根據(jù)需要選擇) |
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分辨率:0.01μm 測(cè)力:0.06-0.8N(根據(jù)需要選擇) |