| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 型號 | OTFC-1550 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 真空室 | SUS304Ф1550*1800MM | ||
| 電源 | 3相 | ||
| 200v | |||
| 50/ 60Hz | |||
| 約120KVA | |||
| 水流量 | 180升/分以上 | ||
| 空氣壓力 | 0.5MPa以上 | ||
| 基板溫度 | 350C | ||
| 排氣時間 | 20分(大氣壓~1. 3X 10-3Pa) | ||
| 達(dá)到壓力 | 7. 0X10-5Pa以下 | ||
| 排氣系統(tǒng) | 機(jī)械泵2個 擴(kuò)散泵Polycold (或2個冷凝泵)275機(jī)械泵 愛德華配套羅茨泵 | ||
| 離子源 | 23 寸光馳RF離子源 | ||
| 蒸發(fā)源 | 2套日本電子16P雙槍 | ||
| 水晶式膜厚計(jì) | XTC/3 6點(diǎn)式水晶傳感器 | ||
| 光學(xué)膜厚監(jiān)控儀 | 波長范圍 | 350nm to 1100nm |反射式/透射式 | |
| 光學(xué)膜厚控制 | HOM2- -R -VIS350A | ||
| 工件架轉(zhuǎn)速 | 10rpm to 30rpm (可變) | ||
| 工件架 | 工件架：Ф1400 | ||
| 重量 | 11000kg | ||
| 電壓 | 220 | ||
| 材質(zhì) | 鑄鐵 | ||
| 品牌 | 光弛 | ||
| 規(guī)格 | 500m00) x 7200m(D)X53700mmmm | ||
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