.jpg "高分辨率、高精度手動(dòng)紫外光刻機(jī)URE-2000\/25LURE-2000\/25")
| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 高分辨率、高精度手動(dòng)紫外光刻機(jī)URE-2000/25L URE-2000/25 品牌 | 鑫有研 | ||
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高精度紫外光刻機(jī)
型號(hào)：URE-2000/25 URE-2000/25L
主要技術(shù)指標(biāo)：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1.5μm（膠厚1.5μm的正膠）
對(duì)準(zhǔn)精度：±0.8μm
最大膠厚：300μm（SU8膠）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；
照明均勻性：±4（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：200W（直流）
掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技術(shù)特點(diǎn)：
球氣浮實(shí)現(xiàn)高精度調(diào)平；超精密手輪對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)，單片機(jī)控制,觸摸開關(guān)操作；整機(jī)精度高、性能可靠
