| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 標(biāo)準(zhǔn)教學(xué)光刻機(jī)URE-2000/17紫外光刻機(jī)標(biāo)準(zhǔn)型 品牌 | 鑫有研 | ||
.jpg)
.jpg)
.jpg)
.jpg)
.jpg)
.jpg)
.jpg)
紫外光刻機(jī)
型號：URE-2000/25型
教學(xué)標(biāo)準(zhǔn)型紫外光刻機(jī)
主要技術(shù)指標(biāo)：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1.7μm（膠厚2μm的正膠）；
對準(zhǔn)精度：±1μm
最大膠厚：
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；
照明均勻性：±6（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：200W（直流）
掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技術(shù)特點：
采用雙目雙視場顯微鏡對準(zhǔn)；球碗調(diào)平,單片機(jī)控制,觸摸開關(guān),操作方便、實用性強(qiáng)。
.jpg "標(biāo)準(zhǔn)教學(xué)光刻機(jī)URE-2000\/17紫外光刻機(jī)標(biāo)準(zhǔn)型")
