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無(wú)塵室結(jié)構(gòu)材料
1.無(wú)塵室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。無(wú)塵室門采用凈化密
閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。
2.無(wú)塵室地面采用環(huán)氧自流平或高級(jí)耐磨塑料潔凈地板。
3.無(wú)塵室凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF"阻燃型的保溫板做保溫。無(wú)塵室及無(wú)塵室空氣中
懸浮粒子潔凈度等級(jí)：等數(shù)ISO空氣潔凈大于或等于表中粒徑的最大濃度限值（P/m -空氣）潔凈等級(jí)。
潔凈室(Clean Room)，亦稱為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有潔凈室，污染敏感零件不可能
批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其
中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈
度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之
房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力
等性能之特性。潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品
能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。
