MEMS VOC氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)傳感器所處存在氣體環(huán)境中時(shí)，傳感器的電導(dǎo)率隨空氣中被檢測(cè)氣體的濃度而發(fā)生改變。該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)
檢測(cè)氣體種類
（C2H5OH）： 1– 500ppm
（C7H8)：1-500ppm
（CH2O)：1-100ppm
傳感器特點(diǎn)
低功耗
高靈敏度
結(jié)構(gòu)堅(jiān)固
MEMS工藝
簡(jiǎn)單的驅(qū)動(dòng)電路
快速的響應(yīng)恢復(fù)特性
主要應(yīng)用
適用于室內(nèi)空氣質(zhì)量監(jiān)測(cè) 、手機(jī)電腦等消費(fèi)類子產(chǎn)品應(yīng)用檢測(cè)空氣質(zhì)量也適用于呼出氣體檢 測(cè)儀、室內(nèi)煙霧報(bào)警等。
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