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橢偏儀產(chǎn)品特點：

Ø 高品質(zhì)之光學(xué)與電動元件，無需防震桌。 

Ø 燈泡更換容易，客戶可自行操作，無需校正。 

Ø FFT-在應(yīng)用分析上，可除了橢圓儀原本的回歸分析，還增加了傅利葉的分析方式，可針對不同的材料與厚度使用，User使用上更為便利與快速.

Ø 具有Analyzer Tracking功能，可大幅提昇量測精度，與PEM之效果相同。

Ø 可搭配反射儀使用，可於日後Upgrade

Ø 可量測透明基板，無需背後處理。 

Ø 可Upgrade為 in line量測設(shè)備。

Ø 採用美國進口光譜儀，量測速度快。

Ø 使用步進馬達並非Rotating Polarizer，避免馬答損壞。 

Ø 固定量測角度-70度，可避移動時所造成的量測誤差與機械損害(光學(xué)儀器都應(yīng)減少移動)。 

Ø 性價比極佳，品質(zhì)及量測能力可達到世界一流水準，公司備有DEMO儀器，可供客戶實施操作比較。

橢偏儀技術(shù)參數(shù)：

波長範圍:350nm-1050nm

快速全自動量測 

精密量測膜厚及折射率 

各種功能材料的光學(xué)常數(shù)測量和光譜特性分析 

橢貨參數(shù)精度:  ≦0.01for Tan (ψ);  ≦0.01 for Cos (Δ)

直接測量透明基板上之鍍膜，無需基板背面處理或染黑

量測范圍：15Å-severaol um

橢偏儀量測應(yīng)用： 
       - 太陽能電池、LED鍍膜、新材料鍍膜
       - TFT-LCD: SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si,Photo Resists...
       - SEMI: 
       - High-k:Al2O3,SiO2,Si3N4,SiNX,HfO2,Ta2O5,ZrO2
       - Low-k: SiOC,SiOF,SOG,BPSG …