100-30萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間工程裝修方案設(shè)計(jì)、無(wú)塵車間工程裝修規(guī)劃、潔凈車間工程裝修方案設(shè)計(jì)、無(wú)菌車間工程裝修規(guī)劃、潔凈廠房工程裝修方案設(shè)計(jì)
電子工業(yè)潔凈室的設(shè)計(jì)
電子工業(yè)潔凈室的特點(diǎn)：
電子工業(yè)潔凈室的特點(diǎn)一是大，二是多變。幾千平方米、上萬(wàn)平方米的面積并不少見(jiàn)。電子工業(yè)的技術(shù)更新快，工藝變了，平面布局就要跟著變，因此平面上不宜有固定的分隔，特別是很小的分隔。具體說(shuō)，有以下一些獨(dú)特之處應(yīng)加注意。
（1）平面由工藝決定，電子工業(yè)潔凈廠房的工藝布局應(yīng)適應(yīng)電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。
（2） 主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。
（3）大型電子工業(yè)潔凈廠房常采用上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層這種“夾心”式多層構(gòu)造。
（4）應(yīng)考慮大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的安裝、維修要求，設(shè)置必要的運(yùn)輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口。
（5）電子工業(yè)潔凈室按二級(jí)耐火等級(jí)設(shè)計(jì)。
（6）特種氣體的儲(chǔ)存和分配間應(yīng)有耐火隔墻與潔凈室（區(qū)）分開(kāi)，該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開(kāi)的，氣瓶與周圍構(gòu)筑物或圍欄之間的距離應(yīng)大于3M，儲(chǔ)存區(qū)設(shè)置的雨篷應(yīng)不低于3.5M。
（7）電子工業(yè)潔凈室的裝飾材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。
（8）電子工業(yè)潔凈室允許設(shè)空氣吹淋室，這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應(yīng)與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按班人數(shù)為30人一間設(shè)計(jì)，當(dāng)工作人員超過(guò)5人時(shí)，應(yīng)設(shè)旁門，當(dāng)人數(shù)太多或?yàn)榱丝s短通過(guò)時(shí)間，也可設(shè)遂道式吹淋室。
（9）對(duì)于高級(jí)別潔凈室，為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性，照明燈具采用凈化淚珠形燈具。
（10）電子工業(yè)潔凈室常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境，以便抑制靜電的產(chǎn)生，將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除。
（11）電子工業(yè)潔凈室友有對(duì)防微振的特殊要求，在廠地環(huán)境上應(yīng)避開(kāi)振動(dòng)源。
（12）電子工業(yè)潔凈室除有一般給排水要求外，對(duì)超大規(guī)格集成電路的用水也有標(biāo)準(zhǔn)。
電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
批準(zhǔn)部門
中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部
目的：
為在電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量，并符合勞動(dòng)衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)的要求，制定本規(guī)范。
適用范圍：
本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)。
電子制造業(yè)廠潔凈室廠房特點(diǎn):
潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō)，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。 這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無(wú)塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
●電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)
●電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流 潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。
●電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
● 電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的--值：
● 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
● 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量，應(yīng)取下面三項(xiàng)：
●保證電子制造廠無(wú)塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量：
●根據(jù)熱，濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量：
●向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量：
電子工業(yè)潔凈室凈化原理
新鮮空氣→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌
等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。
電子工業(yè)潔凈室凈化參數(shù)
換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。
溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A)；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。
溫度45－65%；GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%－30%；照度300Lx
凈化工程中空氣凈化處理方案
●凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初、中、高--效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞--高效空氣過(guò)濾器代高效空氣過(guò)濾器。
●空氣過(guò)濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合:初效空氣過(guò)濾器不應(yīng)選用浸油式過(guò)濾器;中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;高效空氣過(guò)濾器或亞高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端，高效空氣過(guò)濾的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便可靠，宜檢漏和更換;中效、亞--高效、高--效空氣過(guò)濾器宜按額定風(fēng)量選用;阻力、效率相近的高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。
●確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車間空氣的潔凈度等級(jí)、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無(wú)塵室或凈化車間面積較大時(shí)，位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí)，應(yīng)選用管狀電加熱器，位置應(yīng)布置在高效空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)有防火安全措施。
●送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇，中效、高效空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。
●凈化工程中凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外，應(yīng)采取防止室外污染空氣通過(guò)新風(fēng)口參入凈化車間內(nèi)的防灌倒措施。
●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)，凡工藝過(guò)程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求，或?qū)ζ渌ば蛴形：r(shí)，則不應(yīng)用回風(fēng)。
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