· 產(chǎn)品名稱： NB300A
· 產(chǎn)品類別：NB羅茨泵系列
羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場(chǎng)合而設(shè)計(jì)的。
特長(zhǎng)
結(jié)凈的真空
腔體內(nèi)沒(méi)有潤(rùn)滑油，對(duì)水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。
能在高吸入壓強(qiáng)下運(yùn)轉(zhuǎn)
選用比標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)容量大一級(jí)的電機(jī)，即可實(shí)現(xiàn)在高吸入壓強(qiáng)下的運(yùn)轉(zhuǎn)。
用途
照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體
鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐
分析儀器、檢漏設(shè)備，CO2激光設(shè)備
機(jī) 型 |
NB100A |
NB300A |
NB600A |
NB1200A |
||
項(xiàng) 目 |
||||||
抽氣速率*3 m3/h（L/min） |
50Hz |
95(1580) |
280(4670) |
500(8330) |
1000(16667) |
|
60Hz |
115(1920) |
330(5500) |
600(10000) |
1200(20000) |
||
最大吸入壓力 Pa (連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)) |
50Hz |
1.3×103 |
1.2×103 |
1.3×103 |
||
60Hz |
1.3×103 |
9.3×102 |
1.1×103 |
|||
最大允許壓力差 Pa (排出壓力-吸入壓力) |
50Hz |
8.0×103 |
4.0×103 |
7.3×103 |
||
60Hz |
6.7×103 |
3.3×103 |
6.0×103 |
|||
極限壓力 Pa*1 |
4.0×10‐1 |
6.7×10‐1 |
||||
標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵 |
GLD-N280 VDN301 |
VDN401 |
VSN1501 VSN2401 |
VSN1501 VSN2401 |
||
電 機(jī) |
kW (極) *2 *4 |
0.4（2） |
0.75（2） |
2.2（2） |
3.7(2) |
|
V-Hz |
380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz |
|||||
使 用 油 |
ULVOIL® R-4 |
|||||
所需油量 L |
0.35 |
0.70 |
1.50 |
1.90 |
||
冷卻水量 L/min*6 |
空 冷 |
2 *5 |
2 |
3 |
||
進(jìn)水壓力 MPa |
－ |
|
0.3 |
|
||
進(jìn)出水壓差 MPa |
－ |
0.05 |
0.1 |
|||
重 量 kg |
24 |
49 |
77.5 |
110 |
||
吸氣口徑 (JIS B 2290) |
相當(dāng) VG50 |
相當(dāng) VG80 |
相當(dāng)VG80 |
相當(dāng)VG100 |
||
排氣口徑 (JIS B 2290) |
相當(dāng)VF50 |
相當(dāng)VF80 |
相當(dāng)VF80 |
相當(dāng)VF80 |
||
*1 用皮拉尼真空計(jì)測(cè)量的值，如用麥?zhǔn)险婵沼?jì)測(cè)量，則為4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而NB1200A則為6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。
*2 電源為AC380V、50Hz、三相。
*3 隨粗抽泵的性能而變化，表中為標(biāo)準(zhǔn)泵的組合的數(shù)據(jù)。
*4 NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購(gòu)1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機(jī)。
*5 對(duì)于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa(4Torr)以上進(jìn)行連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)必須用水冷。
*6 冷卻水溫為5～30℃
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ULVAC真空泵（寧波愛(ài)發(fā)科真空泵）主要型號(hào)：
NB羅茨泵系列：NB100A NB300A NB600A NB1200A
VD油旋片式真空泵：VDN601 VDN901 VDN401 VDN301
GLD油旋片式真空泵：GLD-N280 GLD-N051 GLD-N201 GLD-N136
PVD油旋片式真空泵系列：PVD-N360 PVD-N180
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