· 產(chǎn)品名稱：NB1200A
· 產(chǎn)品類別：NB羅茨泵系列
羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設計的。
特長
結凈的真空
腔體內(nèi)沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。
能在高吸入壓強下運轉
選用比標準電機容量大一級的電機，即可實現(xiàn)在高吸入壓強下的運轉。
用途
照明、電子、光學、半導體
鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐
分析儀器、檢漏設備，CO2激光設備
機 型 |
NB100A |
NB300A |
NB600A |
NB1200A |
||
項 目 |
||||||
抽氣速率*3 m3/h（L/min） |
50Hz |
95(1580) |
280(4670) |
500(8330) |
1000(16667) |
|
60Hz |
115(1920) |
330(5500) |
600(10000) |
1200(20000) |
||
最大吸入壓力 Pa (連續(xù)運轉時) |
50Hz |
1.3×103 |
1.2×103 |
1.3×103 |
||
60Hz |
1.3×103 |
9.3×102 |
1.1×103 |
|||
最大允許壓力差 Pa (排出壓力-吸入壓力) |
50Hz |
8.0×103 |
4.0×103 |
7.3×103 |
||
60Hz |
6.7×103 |
3.3×103 |
6.0×103 |
|||
極限壓力 Pa*1 |
4.0×10‐1 |
6.7×10‐1 |
||||
標準粗抽泵 |
GLD-N280 VDN301 |
VDN401 |
VSN1501 VSN2401 |
VSN1501 VSN2401 |
||
電 機 |
kW (極) *2 *4 |
0.4（2） |
0.75（2） |
2.2（2） |
3.7(2) |
|
V-Hz |
380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz |
|||||
使 用 油 |
ULVOIL® R-4 |
|||||
所需油量 L |
0.35 |
0.70 |
1.50 |
1.90 |
||
冷卻水量 L/min*6 |
空 冷 |
2 *5 |
2 |
3 |
||
進水壓力 MPa |
－ |
|
0.3 |
|
||
進出水壓差 MPa |
－ |
0.05 |
0.1 |
|||
重 量 kg |
24 |
49 |
77.5 |
110 |
||
吸氣口徑 (JIS B 2290) |
相當 VG50 |
相當 VG80 |
相當VG80 |
相當VG100 |
||
排氣口徑 (JIS B 2290) |
相當VF50 |
相當VF80 |
相當VF80 |
相當VF80 |
||
*1 用皮拉尼真空計測量的值，如用麥氏真空計測量，則為4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而NB1200A則為6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。
*2 電源為AC380V、50Hz、三相。
*3 隨粗抽泵的性能而變化，表中為標準泵的組合的數(shù)據(jù)。
*4 NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機。
*5 對于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa(4Torr)以上進行連續(xù)運轉必須用水冷。
*6 冷卻水溫為5～30℃。
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ULVAC真空泵（寧波愛發(fā)科真空泵）主要型號：
NB羅茨泵系列：NB100A NB300A NB600A NB1200A
VD油旋片式真空泵：VDN601 VDN901 VDN401 VDN301
GLD油旋片式真空泵：GLD-N280 GLD-N051 GLD-N201 GLD-N136
PVD油旋片式真空泵系列：PVD-N360 PVD-N180
Gatch系列真空計：電離真空計SC1-N IAG1-N 皮拉尼真空計SW1-N 顯示器單元ISG1-N
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