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壓力控制方式是因?yàn)椴捎脻L動(dòng)膜片與計(jì)量膜合的伺服平衡方式，可以實(shí)現(xiàn)無塵室對應(yīng)的精密的壓力調(diào)整的超精密減壓閥。

• 無塵規(guī)格

• 因?yàn)椴科肥遣讳P鋼及氟橡膠，其他的部品全部為非電解鍍鎳處理，產(chǎn)生的雜質(zhì)非常少。

• 歧管安裝對應(yīng)

• 歧管連接配管可能。

• 排氣口裝備

• 因?yàn)榕艢饪?，溢流孔，可以連接排氣用配管；排氣空氣及溢流空氣都可以排到無塵室以外。

• 高精度

• 可以實(shí)現(xiàn)感度0.1%F.S.,反復(fù)再現(xiàn)性±0.1%F.S.的高精度控制。