FMA-2611A-I2 FMA-2606A FMA-2614A-VOL流量計OMEGA歐米茄
氣體質量與體積流量控制器適用于潔凈氣體
FMA-2600A 系列
氣體質量與體積流量控制器適用于潔凈氣體
FMA-2600A 系列:氣體質量與體積流量控制器適用于潔凈氣體
20多種氣體校準，包括氦氣、氧氣、氖氣、一氧化二氮、氮氣、大氣、氬氣、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、氫氣、丙烷、丁烷、異丁烷、乙烯、乙炔、氪氣、氙氣、六氟化硫
同時顯示壓力、溫度、體積以及質量流量
簡單易用的按鈕界面
NIST 可溯源性標準
滿量程范圍：0.5 SCCM ~ 1500 SLM
常規(guī)響應時間：50 ~ 100 毫秒
常規(guī)量程比：100:1
位置不
±0.8%讀數精度
標配RS232
FMA-2600A系列質量與體積流量控制器在層流場中使用差壓原則來確定和控制質量流速。流量計中的層流元件(LFE)迫使氣體進入層流。
泊肅葉方程規(guī)定， 在這一區(qū)域體積流速與壓力下降呈線性關系。使用壓差傳感器衡量LFE固定距離中的壓力下降情況。
同時結合氣體的粘度準確判定體積流速。引入單獨的溫度和壓力傳感器，并根據一系列標準條件糾正氣體流速。
這種標準流速俗稱質量流速，并使用每分鐘標準立方英尺(SCFM)或每分鐘標準升(SLM)等單位表示。
該控制器采用連接到流體的真正比例閥，通過一體化PID回路控制器控制流體。
標準設備包括0 ~ 5 V輸出（可選4 ~ 20 mA）和RS232通訊。可通過前面板鍵盤或RS232通訊調整氣體選擇功能和設定值。
體積 流量、質量流量、壓力以及溫度均可以通過RS232連接查看或記錄。
同時，在距離為46 m (150')的同一串口連接上，多可與26臺設備進行多點通訊。
