FMA5540A FMA5526A FMA5508A流量計OMEGA歐米茄
FMA5400A and FMA5500A經(jīng)濟型氣體質(zhì)量控制器（帶或不帶一體式顯示屏）
NIST可追溯校準
讀取和控制氣體質(zhì)量流量而無需溫度或壓力補償
可提供經(jīng)濟型鋁制或耐腐蝕316 SS版本
可傾斜LCD顯示屏，便于讀取
FMA5400A/5500A系列電子氣體質(zhì)量流量計可控制0~10 SCCM范圍內(nèi)高達100 SLM的多種氣體的流量。FMA5400A/5500A利用通過加熱管進行的熱傳遞測量氣體流量，可提供直接的氣體質(zhì)量流量測量值，并且無需對（規(guī)定限值以內(nèi)的）氣體溫度或壓力進行補償。 該產(chǎn)品可提供經(jīng)濟型鋁／銅結(jié)構(gòu)，適合測量普通氣體流量，同時可提供316不銹鋼結(jié)構(gòu)，適合有更高耐腐蝕要求的應(yīng)用。不帶一體式顯示屏的FMA5400A系列流量計具有0 ~ -5Vdc和4 ~ 20 mA模擬量輸出，以便進行遠程監(jiān)測；FMA5500A系列流量計兼具一體式3-1/2位數(shù)字顯示屏和模擬量輸出。顯示屏可傾斜90度，查看讀數(shù)方便。顯示屏經(jīng)過校準，可直接顯示以SCCM或SLM為單位的氮氣流量（您可以通過專門訂購來獲得其它氣體校準）。
