FMA-LP2607A-I FMA-LP2602A-I FMA-LP2606A流量計OMEGA歐米茄
FMA-LP2600A
用于潔凈氣體的低壓降氣體質(zhì)量流量控制器
130+氣體校準,包括純氣體和混合氣體
同時顯示壓力、溫度和質(zhì)量流量
按鍵界面操作簡單
NIST可追溯性標準
0.5 SCCM~500 SLM滿量程范圍
典型響應(yīng)時間為50~100 ms
調(diào)節(jié)比為200:1
位置不
±0.8%讀數(shù)精度
RS232標準
自定義實時氣體混合編程
蕞多可存儲20種用戶定義的氣體混合物
"FMA-LP2600A系列質(zhì)量流量控制器 在層流場中使用 差壓原理來檢測并控制質(zhì)量流量。 流量計中的層流元件(LFE)迫使 氣體進入層流狀態(tài)(經(jīng)過整流處理)。按照泊肅葉方程, 在這一區(qū)域體積流量 與壓降呈線性 關(guān)系。使用差壓傳感器 測量LFE固定距離的 壓降情況。同時結(jié)合氣體的粘度 準確判定體積流量。 引入單獨的溫度和壓力傳感器, 并根據(jù)一系列標準條件 修正氣體流量。這種標準化 流量通常稱為質(zhì)量流量, 使用標準立方厘米/分鐘(SCCM) 或標準升/分鐘(SLM)等 單位表示。
控制器使用真正的比例閥聯(lián)接到 流體,以便使用積分式 PID回路控制器來控制流量。標準設(shè)備包括 0 ~ 5V輸出(可選4 ~ 20 mA)和RS232 通信。可從前端鍵盤或 通過RS232通信調(diào)整氣體 選擇功能和設(shè)定值。體積流量、質(zhì)量 流量、壓力以及溫度均可 通過RS232連接查看或記錄。 在距離為46m(150’)的同一串口連接上,同時蕞多可與26臺設(shè)備進行多點通信。
產(chǎn)品規(guī)格
精度:±(0.8%讀數(shù) + 0.2% FS)
重復(fù)性:±0.2% FS
調(diào)節(jié)比:200:1
控制響應(yīng)時間:100 ms
輸入控制信號:0~5 Vdc, RS232
輸出信號:0~5 Vdc, RS232
可選輸入/輸出:4~20 mA, 0~10 Vdc
工作溫度:-10~50°C(14~122°F)
零點漂移:0.02%/ATM FS/°C
量程漂移:0.02%/ATM FS/°C
濕度范圍:0~100% RH, 無冷凝
附加流速:2.4% FS
接濕材料:標配:303和302 SS,F(xiàn)KM,硅樹脂TRV(橡膠),玻璃增強尼龍,鋁,黃銅,410 SS,硅樹脂,玻璃;gt;250 SLM:416 SS和鎳替代黃銅
-LSS(選項):316LSS,303SS,430FRSS,全氟彈性體標準,F(xiàn)KM,EPDM,丁納橡膠,氯丁橡膠 蕞大壓力:50 psig
在體積模式下使用:近大氣壓,建議蕞大值為15 psig。體積流量計和控制器未針對質(zhì)量流速高于流量計額定流量范圍的情況進行精度認證。它們僅適用于接近大氣壓的條件。 蕞大工作壓力建議為15 psig
電源電流:20 SLM及以下為0.250 A;50 SLM及以上(典型值)為0.75 A
電源電壓:2 SLM及以下設(shè)備為15-30 Vdc;5 SLM及以上設(shè)備為24-30 Vdc
電氣連接:8針圓形Mini-DIN"