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切割機8230_ADT全自動雙軸12寸
ADT切割機8230是一款高效率、高精度、高性能、低成本的雙軸(對向)全自動晶圓切割機。切割工件尺寸可達12英寸。


ADT全自動雙軸12寸切割機8230特點：
· 靈活性-支持3英寸刀片；
· 支持1.8KW或2.2KW大功率主軸(適用于更高要求的切割)；
· 使用17英寸觸摸顯示屏，操作界面直觀；


全自動雙軸12寸切割機8230其它重要特點
· 切割效率高-大幅降低使用成本；
· 空氣主軸；
· 快速自動對齊及切割定位，提高切割效率；
· 高精度的自動刀痕檢測及切割質量分析；
· 切割過程數(shù)據記錄和統(tǒng)計分析；
· 更換刀片時鎖定主軸，操作更快速、簡便；
· SECS/GEM通信標準；
· 機器維護時可觸及系統(tǒng)的任何區(qū)域，帶來維護的便利性；


ADT 8230全自動雙軸12寸切割機規(guī)格：
MAX工作盤尺寸                 φ300mm
X軸     切割范圍                 310mm
          進刀速度輸入范圍 0.1-600mm/s
Y1&Y2軸   切割范圍                 310mm
                 單步步進量 0.0001mm
                 定位精度                 Within 0.002/310 mm
                                 （Single step accuracy）within 0.002/5
Z軸     行程                 30mm（對應2英寸刀片）
          移動分辨率                 0.0001mm
          重復精度                 0.001mm
θ軸     旋轉角度                 380deg
主軸    主軸類型                 對向式雙主軸
          額定扭矩                 0.33（1.8kw）N.m
          回轉速                 6,000 ～60,000(1.8KW)min-1
刀片尺寸                                 2"
視覺系統(tǒng)                                 1倍和8倍高清光學相機 相機光源：LED（直光 & 斜光）
尺寸（W×D×H）                 1220 × 1550 × 1850 mm
重量                                 Approx 2000kg



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