天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經銷INTELLIDRIVES開放式 XY 旋轉平臺XY-OF-UL-200X200+ACR160UT
產品型號：XY-OF-UL-200X200+ACR160UT
產品介紹
集成系統(tǒng)將線性或 XY 平臺與轉臺相結合，提供交鑰匙解決方案。 平臺可配備直接驅動直線電機或基于滾珠絲杠的機械裝置。
性能特點
開放式 XY 旋轉平臺設計用于半導體制造行業(yè)中的晶圓處理和許多其他自動化定位應用。 位于單元側面的 XY 驅動機構和大型中心通孔轉臺提供了清晰通暢的晶圓訪問。
技術參數(shù)
XY臺：XY-OF-UL-200x200
旋轉臺：ACR-160UT
電機類型：無刷伺服電機/編碼器（標準）
直線伺服電機（選件）
XY行程：200 x 200 mm
中心孔徑：直徑160 mm
分辨率（線性）：1 micron（注 1,2）
2.5 micron（注3）
分辨率（旋轉）：1.4 arc-sec
重復性（線性）：5 micron（注3）
1 micron（注 1,2）
重復性（旋轉）： 2 arc-sec
速度：400mm/sec（注 3）
800mm/sec（注2）
負載重量： 30 kg
載物臺重量：16 kg
（注1）帶線性編碼器（可選）
（注2）直線伺服電機（可選）
（注 3）滾珠絲杠 10 mm 導程，無刷伺服驅動
產品尺寸
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