一，機(jī)械用途
用于生產(chǎn)IR-CUT濾光片、分色濾光片、高反射膜、AR膜、長(zhǎng)波通、短波通和多種電學(xué)薄膜
二，機(jī)械優(yōu)點(diǎn)
采用箱式結(jié)構(gòu)，真空系統(tǒng)后置，便于操作和維修；整機(jī)表面平整，方便清潔，特別適合放置在凈化間內(nèi)做穿墻式安裝。
銷售技術(shù)楊經(jīng)理：181-030-45976
三：特征
真空室尺寸：Φ600-1800mm60點(diǎn)/80點(diǎn)式光學(xué)膜厚監(jiān)控使用均勻分布的高離子電流密度的離子源搭載雙電子槍，多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍100層以上利用自動(dòng)蒸鍍控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸鍍過程工件架可選擇鐘罩式或行星式排氣系統(tǒng)可選擇擴(kuò)散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵規(guī)格設(shè)備名稱
四：規(guī)格
OTFC-1300CBI/DBI真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)工件架φ1130mm工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 50rpm(可變)光學(xué)膜厚控制HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀
波長(zhǎng)范圍：350nm to 1100nm
反射式/透射式水晶式膜厚計(jì)XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器蒸發(fā)源電子槍2套離子源17cmRF離子源排氣系統(tǒng)機(jī)械泵+2個(gè)擴(kuò)散泵+Polycold（或2個(gè)冷凝泵）
五：性能
達(dá)到壓力7.0×10-5 Pa 以下排氣時(shí)間15分（大氣壓～1.3×10-3 Pa)基板溫度：350℃工作條件設(shè)備尺寸約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)電源3相,200v,50/60Hz, 約104KVA水流量140升/分以上空氣壓力0.5MPa以上重量約8500kg
庫(kù)存明細(xì)：
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品牌 |
型號(hào) |
數(shù)量 |
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光弛 |
1550 |
2臺(tái) |
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1300 |
2臺(tái) |
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韓國(guó)韓一 |
2050 |
3臺(tái) |
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1600 |
2臺(tái) |
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1200 |
1臺(tái) |
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2700 |
1臺(tái) |
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韓國(guó)聯(lián)合 |
2050/1300 |
2臺(tái) |
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韓一磁控濺射 |
1600 |
1臺(tái) |
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臺(tái)灣龍翩 |
1800 |
2臺(tái) |
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臺(tái)灣PEVA |
900 |
2臺(tái) |
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德國(guó)萊寶 |
1100/1510 |
2臺(tái) |
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日本多弧鍍膜機(jī) |
1300 |
1臺(tái) |
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南光 |
1100/1300 |
4臺(tái) |
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日本昭和 |
500/900 |
5臺(tái) |
