濺射式壓力敏感元件是在高真空度中，利用磁控技術(shù)，將絕緣材料、電阻材料以分子形式淀積在彈性不銹鋼膜片上，形成分子鍵合的絕緣薄膜和電阻材料薄膜，并與彈性不銹鋼膜片融合為一體。再經(jīng)過(guò)光刻、調(diào)阻，溫度補(bǔ)償?shù)裙ば?，在彈性不銹鋼膜片表面上形成牢固而穩(wěn)定的惠斯頓電橋。此電橋便是儀表，傳感器等測(cè)量器件中的基本環(huán)節(jié)。當(dāng)被測(cè)介質(zhì)壓力作用于彈性不銹鋼膜片時(shí)，位于另一面的惠斯頓電橋則產(chǎn)生正比于壓力的電輸出信號(hào)。將此信號(hào)經(jīng)放大調(diào)節(jié)等處理。再配以適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)，就成為應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域中的壓力傳感器和壓力變送器。
