|
參 數(shù) 名 稱 |
單 位 |
配置 |
|
沉積類型 |
|
二氧化硅，氮化硅，類金剛石等 |
|
電 源 |
|
射頻電源，帶正向功率和反射功率計(jì)指示，帶匹配器 |
|
加熱系統(tǒng) |
|
平板式雙反應(yīng)室系統(tǒng)，帶加溫和勻氣系統(tǒng) |
|
工 作 溫 度 |
℃ |
100~600℃ |
|
基片臺(tái)尺寸 |
(φ×H)mm |
1英寸、二英寸、三英寸、四英寸 |
|
基片臺(tái)轉(zhuǎn)速 |
|
轉(zhuǎn)速0-20RPM |
|
控 溫 精 度 |
℃ |
±1 |
|
極限真空 |
pa |
8.0×10-5 |
|
密封系統(tǒng) |
|
磁流體密封 |
|
水冷、氣路系統(tǒng) |
|
冷卻水循環(huán)機(jī)、無(wú)噪聲氣泵 |
|
報(bào)警及保護(hù) |
|
對(duì)缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警及相應(yīng)保護(hù)措施 |
|
真空系統(tǒng)
（選 配） |
真空系列 |
單級(jí)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵 |
|
工作腔體 |
不銹鋼 | |
|
氣氛系統(tǒng) |
浮子流量計(jì)、進(jìn)口、國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量計(jì) | |
|
記錄裝置 |
進(jìn)口、國(guó)產(chǎn)無(wú)紙記錄儀 | |
|
備注：西尼特可根據(jù)閣下要求提供各種非標(biāo)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)制造，歡迎來函、來電咨詢！
24小時(shí)熱線：400-668-6260 18610138965 Fax:010-51418223
cntdl@sina.com http://www.cimitdl.com | ||
