?位移量同步比較動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)x器。如測(cè)量線位移和角位移的漸開(kāi)線齒形檢査儀、絲杠動(dòng)態(tài)檢査儀，以及測(cè)量角位移和角位移的齒形單面嚙合檢査儀、傳動(dòng)鏈測(cè)量?jī)x等。在這類儀器中，測(cè)量角位移絕大多數(shù)用光柵式傳感器，測(cè)量線位移也多數(shù)用光柵式傳感器。?髙精度機(jī)床上的線位移和角位移測(cè)量。如高精度的光學(xué)坐標(biāo)鏜床、長(zhǎng)刻線機(jī)和圓刻線機(jī)等。?數(shù)控機(jī)床上的位移測(cè)量。當(dāng)前在數(shù)控機(jī)床的檢測(cè)系統(tǒng)中，光柵式傳感器用得很普遍，如數(shù)控車床、數(shù)控銑床，以及數(shù)控滾齒機(jī)等。
