半導(dǎo)體材料研究和器件測試通常要測量樣本的電阻率和霍爾電壓。半導(dǎo)體材料的電阻率主要取決于體摻雜，在器件中，電阻率會影響電容、串聯(lián)電阻和閾值電壓?；魻栯妷簻y量用來推導(dǎo)半導(dǎo)體類型(n還是p)、自由載流子密度和遷移率。為確定半導(dǎo)體范德堡法電阻率和霍爾電壓，進(jìn)行電氣測量時需要一個電流源和一個電壓表。為自動進(jìn)行測量，一般會使用一個可編程開關(guān)，把電流源和電壓表切換到樣本的所有側(cè)。A-SCS參數(shù)分析儀擁有4個源測量單元(SMUs)和4個前置放大器(用于高電阻測量)，可以自動進(jìn)行這些測量，而不需可編程開關(guān)。
