Profilm3D光學(xué)輪廓儀讓3D光學(xué)輪廓測(cè)量的價(jià)格變得更加能夠接受。Profilm3D使用垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術(shù)。以的價(jià)格實(shí)現(xiàn)次納米級(jí)的表面形貌研究。
100mm自動(dòng)XY樣品臺(tái)
您還在位每人都希望要的功能而支付額外的費(fèi)用嗎?我們現(xiàn)在每臺(tái)Profilm3D都將100mm自動(dòng)XY樣品臺(tái),4孔物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)和手動(dòng)調(diào)平裝置作為標(biāo)準(zhǔn)配置。
超大的視場(chǎng)范圍
Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達(dá)到2mm的超大視場(chǎng)范圍,同時(shí)其最大4倍光學(xué)變焦的功能緩解了不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需求。這些都進(jìn)一步降低了采購(gòu)成本。
1、特征值
2、8μm臺(tái)階高度
3、精確度是指每天測(cè)量30次10um臺(tái)階高度標(biāo)樣的1次標(biāo)準(zhǔn)差,連續(xù)成功測(cè)量20天的平均值。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于1°C。
穩(wěn)定性是指連續(xù)成功測(cè)量10um臺(tái)階高度標(biāo)樣20天,取每天測(cè)量30次數(shù)值的平均值,計(jì)算2倍標(biāo)準(zhǔn)差。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于1°C。
4、所有變焦縮放后的有效像素為648x484(通過數(shù)位化的pixelbinning實(shí)現(xiàn))
5、分開銷售
6、樣品上投影的像素大小
7、樣品表面粗糙時(shí)可測(cè)最大傾角將更大
優(yōu)尼康科技有限公司(UNICORNTECHNOLOGYCO.,LTD.)成立于2012年11月,注冊(cè)于中國(guó)香港,是翌穎科技(上海)有限公司的子公司。
翌穎科技(上海)有限公司主要為半導(dǎo)體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進(jìn)口制程及測(cè)量設(shè)備。提供全面的一對(duì)一銷售服務(wù),技術(shù)支持,備件管理和咨詢服務(wù)。
不同于大多數(shù)的設(shè)備分銷公司,我們具備技術(shù)與豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),不光只為用戶提供設(shè)備,同時(shí)也能提供設(shè)備具體應(yīng)用及工藝方面的支持服務(wù)。
3D光學(xué)輪廓儀
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