型 號 VI2010 VI3030 VI6040 VIB9060 VIB1210 測量范圍 X 200mm 300mm 600mm 600mm 1000mm Z 155mm 155mm 155mm 200/500mm 200/500mm X-Y軸不確定度 U95=(2.0+L/100)um Z軸不確定度(使用接觸測頭) U95=(3.0+L/100)um 工作臺面積 457 x 336mm 557 x 534mm 工件最大重量 25KG X,Y軸驅(qū)動類型 CNC,電動,帶手動搖桿,快速移動 攝像系統(tǒng) CCD相機(jī),分辨率752x582,480TVL PAL 制式 放大倍數(shù) 使用標(biāo)準(zhǔn)鏡頭30x-200x,使用附加0.5x及2.0x鏡頭 15x-400x (17”顯示器) 測量分辨率 0.5um(0.25um) 工作臺分辨率 0.5um 0.5um 0.5um 0.1um 0.1um 承載重量 25Kg 工作速度 150mm/秒
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