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導(dǎo)體漿料采用200目的絲網(wǎng)模版印刷在AIN流延坯片上，厚度約15μm，獲得圖形的最小線寬200μm。印刷過后對導(dǎo)線條進(jìn)行干燥，目的是緩慢地排除部分低分子量的有機載體，對導(dǎo)線條進(jìn)行初步的固化。實驗表明，干燥時速度不宜過快，以防止溶劑快速揮發(fā)而產(chǎn)生缺陷。本實驗的工藝條件為120℃，20min。經(jīng)通孔、疊壓工藝后獲得AIN多層生坯。疊壓工藝參數(shù)如溫度、壓力、保溫時間等均會對 AIN 多層生坯片的質(zhì)量產(chǎn)生直接影響。實驗采用疊壓溫度 60～80℃，壓力4MPa，時間 0.5～2min。圖2為多層 (三層 )AIN復(fù)合材料基板的金屬布線圖形 。氮化鋁陶瓷結(jié)構(gòu)數(shù)控加工廠

共燒的初期段為A1N流延素坯的排膠階段。由于流延坯和金屬漿料內(nèi)含有大量的載體和粘結(jié)劑，燒結(jié)前必須排膠，才能進(jìn)入燒結(jié)階段 。

本實驗采用空氣氣氛下二次排膠工藝，即在第一次升溫后，降溫，再進(jìn)入第二次升溫進(jìn)行排膠與燒結(jié)。具體工藝為：室溫→450℃，升溫速率約為 2℃／min；450℃ →室溫，自然冷卻 ；室溫 →600℃，升溫速率約為 5℃／min；600℃ → 930℃，在 600℃時通N?及微O?，升溫到 930℃，在 930°C 時保持 30min，進(jìn)行燒結(jié) 。


? 圖3為AIN流延坯片在空氣中的熱失重曲線；圖4為A1N流延坯片在氮氣中的熱失重曲線。升溫速率均為15℃／min。從圖中可以看出，兩者的排膠情況是不同的。在氮氣中排膠，在 250～350℃之問出現(xiàn)快速排膠期，350℃以后有一個緩慢排膠期，持續(xù)至 450℃左右，排膠過程基本結(jié)束 。而在氧化性氣氛中，排膠集中在250～400℃之間的一個快速排膠過程中。從失重情況來看，空氣中400℃時失重約18％，氮氣中450℃ 時失重約10％，說明前者比后者有機物的排除更為徹底。這是因為相對于氮氣氣氛中的分解排膠而言，氧化性氣氛還提供了一個氧化排膠的途徑。排膠過程中有機物分解產(chǎn)生的大量殘余碳與氧反應(yīng)，生成氣相化合物而揮發(fā) （C+O?=CO?↑）。氮化鋁陶瓷結(jié)構(gòu)數(shù)控加工廠在線咨詢鈞杰陶瓷電話：137 1257 4098