高速橫向減薄機(jī)
工作原理:
1.本系列橫向研磨機(jī)為精密磨削設(shè)備,由真空主軸吸附工件與金剛石磨輪作相反方向高速磨削,金剛石磨輪前后擺動(dòng)。該方法磨削阻力小、工件不會(huì)破損,而且磨削均勻生產(chǎn)效率高。
特 點(diǎn):
1.可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會(huì)破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
2.減薄效率高,LED藍(lán)寶石襯底每分鐘可減薄48um。硅片每分鐘可減薄250um。
3.系列研磨機(jī)采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板,
技術(shù)參數(shù):
型 號(hào) |
YM-150LX |
YM-180LX |
YM-200LX |
YM-230LX |
金剛石磨輪尺寸 |
φ150×H25 |
φ180×H25 |
φ200×H30 |
φ230×H30 |
最大工件尺寸 |
φ150mm |
φ180mm |
φ200mm |
φ230mm |
磨輪轉(zhuǎn)速(可調(diào)) |
0---1000rpm /分鐘 |
0---1000rpm /分鐘 |
0---800rpm /分鐘 |
0---800rpm /分鐘 |
工件轉(zhuǎn)速(可調(diào)) |
0---2000rpm /分鐘 |
0---2000rpm /分鐘 |
0---1800rpm /分鐘 |
0---1800rpm /分鐘 |
磨輪電機(jī)功率 |
1.5KW. 380V 3相 |
1.5KW. 380V3相 |
2.2KW. 380V 3相 |
2.2KW. 380V 3相 |
真空主軸電機(jī)功率 |
0.75KW. 380V3相 |
0.75KW. 380V3相 |
1.1KW. 380V3相 |
1.1KW. 380V3相 |
控制精度(平行度) |
1um(φ100mm) |
1um(φ100mm) |
1um(φ100mm) |
1um(φ100mm) |
外形尺寸 |
1200×550×1550 |
1200×550×1550 |
1350×600×1600 |
1350×600×1600 |
重 量: |
850kg |
980kg |
1100kg |
1300kg |