EDWARDS nXDS6i特點(diǎn)
真空外殼中不需要使用潤滑劑，完全密封可******的清潔和干燥真空，防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以***溫度運(yùn)行，使用時間***
· 無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費(fèi)用
· 簡單的單側(cè)滾軸設(shè)計(jì)意味著例行維護(hù)工作可在數(shù)分鐘內(nèi)完成，降低運(yùn)行***，盡可能延長正常運(yùn)行時間
· 用于實(shí)現(xiàn)蒸汽泵送的氣鎮(zhèn)功能"
