為提高制備薄膜的致密度, 減少結(jié)構(gòu)缺陷, 提高耐蝕性能, 國內(nèi)某光學(xué)薄膜制造商采用伯東 KRI 考夫曼聚焦型射頻離子源 RFICP140 用于磁控濺射鍍制 TiN 薄膜.
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP140 技術(shù)參數(shù):
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型號 |
RFICP 140 |
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Discharge |
RFICP 射頻 |
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離子束流 |
>600 mA |
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離子動能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
14 cm Φ |
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離子束 |
聚焦 |
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流量 |
5-30 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
24.6 cm |
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直徑 |
24.6 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
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客戶采用離子源輔助磁控濺射鍍膜技術(shù)在 304 不銹鋼和 P 型(100)晶向硅片上制備TiN納米薄膜.
推薦理由:
聚焦型射頻離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染
運行結(jié)果：
1. 通過KRI 考夫曼聚焦型射頻離子源 RFICP140 濺射作用將優(yōu)先形成的遮蔽效應(yīng), 制備的薄膜具有較高致密度.
2. 減少結(jié)構(gòu)缺陷
3. 提高耐蝕性能
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.
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