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KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 應用于 AlTiN 涂層研究
發(fā)布者:bdqysh  發(fā)布時間:2021-01-05 15:46:16

四川某大學實驗室研究靶電流, 偏壓、沉積時間等各試驗工藝參數(shù)對兩組試樣 AlTiN 涂層力學性能的影響旨在找出能夠鍍制優(yōu)良性能涂層的最佳工藝方案的項目中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源.

 

伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術參數(shù):

型號

RFICP140

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>600 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

14 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

5-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

24.6 cm

直徑

24.6 cm

中和器

LFN 2000

 

AlTiN 涂層具有高抗氧化性良好熱硬性摩擦系數(shù)低與基體之間結合力強耐磨性強等優(yōu)點因此AlTiN涂層在機械加工行業(yè),尤其是在刀具領域,一直是研究的熱點.

 

KRI 離子源的獨特功能實現(xiàn)了更好的性能增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現(xiàn)的.

 

KRI 離子源是領域公認的領導者已獲得許多專利. KRI 離子源已應用于許多已成為行業(yè)標準的過程中.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質譜儀真空計美國 KRI 考夫曼離子源美國HVA 真空閥門美國 inTEST 高低溫沖擊測試機美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

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