KRI 射頻離子源 RFICP380 技術參數(shù):
射頻離子源型號 |
RFICP380 |
Discharge 陽極 |
射頻 RFICP |
離子束流 |
>1500 mA |
離子動能 |
100-1200 V |
柵極直徑 |
30 cm Φ |
離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
流量 |
15-50 sccm |
通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 |
< 0.5m Torr |
長度 |
39 cm |
直徑 |
59 cm |
中和器 |
LFN 2000 |
在柔性基材 PET 上沉積 AgCu 合金制備的 NSN 系列隔熱膜, 繼承了單 Ag 隔熱膜良好的光譜選擇性, 同時能有效的解決 Ag 易硫化的難題, 還具有抗氧化功能, 以防止隔熱膜長期放置透射率指標變化過大.
NSN70 隔熱膜是沉積 AgCu 合金的金屬膜系結構產品, 它生產效率高、隔熱性好.
KRI 離子源的獨特功能實現(xiàn)了更好的性能, 增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現(xiàn)的.
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