客戶的樣品基底材料為 K9 玻璃, 靶材為 HfO2塊材料, 運行的離子源偏壓為 90V.
離子源型號 |
|
Discharge |
DC 熱離子 |
離子束流 |
>650 mA |
離子動能 |
100-1200 V |
柵極直徑 |
16 cm Φ |
離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
流量 |
2-30 sccm |
通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 |
< 0.5m Torr |
長度 |
25.2 cm |
直徑 |
23.2 cm |
中和器 |
燈絲 |
* 可選: 可調(diào)角度的支架
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.
若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 羅先生 臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!